一种高效散热复合陶瓷基板及其制备方法

    公开(公告)号:CN113548877B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202110918215.1

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 一种高效散热复合陶瓷基板及其制备方法,复合陶瓷基板的结构为SrAl12O19陶瓷/Al2O3陶瓷/SrAl12O19陶瓷。其制备方法:通过水基流延成型分别制备Al2O3‑SrCO3混合粉体单层陶瓷素坯和Al2O3单层陶瓷素坯;将这两种单层陶瓷素坯分别叠层5~10层和10~20层后形成Al2O3‑SrCO3混合粉体多层陶瓷素坯和Al2O3多层陶瓷素坯,再将这两种多层陶瓷素坯依次叠层后形成复合结构流延片,并置于150~300MPa下温等静压得复合结构陶瓷素坯;最后依次进行马弗炉中排胶、真空炉中烧结、马弗炉中退火、双面抛光得复合陶瓷基板。该方法工艺简单,能够提高所制备得到的复合陶瓷基板的散热效率。

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