公开(公告)号：CN119148371A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411150972.9

申请日：2024-08-21

Applicant: 江苏信息职业技术学院

Inventor： 朱佳丽 ,  陆敏智 ,  汪倩倩 ,  冯涣婷 ,  汤煊琳

IPC: G02B26/10 ,  G02B23/02 ,  G02B27/00 ,  G02B27/09 ,  G02B17/08 ,  G01B9/02015 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种用于飞点扫描干涉仪的大扫描视场大像方数值孔径干涉物镜，包括：第一球面透镜、第二球面透镜、第一球面反射镜、第二球面反射镜、第三球面透镜和第四球面透镜；其中，第一球面透镜、第二球面透镜、第一球面反射镜、第二球面反射镜、第三球面透镜和第四球面透镜沿光轴方向从物至像依次设置。本发明发明中的光学系统，具备合理的光焦度分配，可以有效抑制像差，通过将扩束系统与同轴双反卡塞格林系统结合，在维持扫描视场、干涉物镜镜片数量不变的前提下，将物镜可接收最大镜面反射角增大，可大大降低反射镜的装调难度。