基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用

    公开(公告)号:CN117054487B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202311090363.4

    申请日:2023-08-28

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用,传感器包括基板和微米线3D结构,基板具有沿厚度方向设置的金属层,基板上设置有通孔,基板上沿着第一方向设置有第一传输线和第二传输线,第一传输线和第二传输线之间设置有金属板,第一方向与基板的厚度方向垂直;微米线3D结构包括主跳线、子跳线和跨接跳线,子跳线在金属板上平行排列,主跳线连接第一传输线和第二传输线,且主跳线与子跳线互相平行,跨接跳线连接金属板对角方向的通孔,跨接跳线横跨在所述主跳线上,形成带阻谐振器结构。本发明极大降低了工艺成本,易于规模化生产;同时,一块基板上可以重复加工多次铝微米线,可行性高。

    基于IPD具有超高自谐振频率的3D电感器及其应用

    公开(公告)号:CN115050539A

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202210636523.X

    申请日:2022-06-07

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于IPD具有超高自谐振频率的3D电感器,包括基板以及由上至下依次设置于基板上的第一金属层和第二金属层;晶元;至少两个测量Pad点和两个共面波导接地金属板以晶元的中心点对称设置;3D电感主体包括电感连接柱、两端均设置有电感连接柱且通过电感连接柱连接的电感上层金属部和电感下层金属部,电感上层金属部通过测量Pad点连接第一金属层,第一金属层通过电感连接柱连接电感下层金属部,电感下层金属部连接第二金属层。本发明第一金属层和第二金属层呈上下交错的结构排列在至少两个测量Pad点之间形成3D电感器结构,实现超高自谐振频率,提高器件品质因数,极大的减小了器件的芯片尺寸。

    基于RFID概念的尿酸微波生物传感器及其应用

    公开(公告)号:CN113218967B

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202110577665.9

    申请日:2021-05-26

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于RFID概念的尿酸微波生物传感器,包括依次层叠设置的第一基板、第二基板和第三基板;第一基板设置有微流体通道,微流体通道包括腔体,利用腔体容置定量的待测溶液;第二基板设置有金属电容结构,金属电容结构与腔体校准并键合;第三基板上设置有谐振器模块,谐振器模块包括多个分离环,多个分离环相互嵌套构成互补结构。本发明尿酸微波生物传感器具有高品质因数,待测溶液固定在腔体中,以使检测位置及溶液形状均被固定,显著提高了其检测的灵敏度和精确度,而且在实现生物传感响应的测量时,能够提供一种近距离非接触/无线测量的可行性方案,使得整个检测操作方便快速,节省了检测时间,有利于商业化推广使用。

    基于螺旋微流控阵列的分选检测一体化传感芯片及其应用

    公开(公告)号:CN117019245A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310999293.8

    申请日:2023-08-09

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于螺旋微流控阵列的分选检测一体化传感芯片及其应用,芯片包括基板和微流控芯片,基板具有微波谐振传感单元;微流控芯片键合于基板上;微波谐振传感单元包括微带传输线、低频谐振器和高频谐振器,低频谐振器和高频谐振器围绕所述微带传输线对称设置,构成双分裂开口环结构;微流控芯片采用螺旋微流控芯片。本发明采用低频谐振器和高频谐振器围绕微带传输线对称设置,构成双分裂开口环结构,能够进一步增强开口环与微带传输线之间的耦合作用,提高了其微波介电检测灵敏度,并且能够分别在两个不同的频段发生谐振,相互独立工作,互不干扰。

    基于PDMS微流体通道的葡萄糖生物传感器、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN112034018B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202010857225.4

    申请日:2020-08-24

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS微流体通道的葡萄糖生物传感器、制备方法及应用,包括玻璃基板,作为承载体;金属结构,设于玻璃基板上;微流体通道,与玻璃基板上的金属结构对准且键合。制备方法包括如下步骤:在玻璃基板上构建金属结构;制备PDMS微流体通道;对玻璃基板上的金属结构和PDMS微流体通道的表面进行氧等离子体处理,采用射频磁控溅射室产生等离子体,并且在50W,6.5Pa气压条件下,作用时间30s;将等离子体处理后的玻璃基板和PDMS微流体通道进行对准,二者对准后再进行压紧,并在95℃的热板上静置30mins,即可完成电容型葡萄糖生物传感器的加工。本发明采用单层金属结构的传感器设计,能够应用在生物传感器领域、微波谐振器领域。

    酵母菌测试用高灵敏度微波生物传感器及其应用

    公开(公告)号:CN113218968A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110579233.1

    申请日:2021-05-26

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种酵母菌测试用高灵敏度微波生物传感器,包括层叠设置的第一基板和第二基板;第一基板设置有微流体通道,微流体通道包括腔体,利用腔体容置定量的待测溶液;第二基板设置有微波谐振器,微波谐振器包括金属电容结构和金属电感结构,金属电容结构包括级联型交指电容,金属电感结构包括蜿蜒型电感,级联型交指电容与蜿蜒型电感并联,级联型交指电容与腔体校准并键合。本发明级联型交指电容与蜿蜒型电感并联,极大地提高了器件的品质因数,同时减小了器件的芯片尺寸,显著提高了其检测的灵敏度和精确度,而且实现了微量定量检测,极大地降低了测试溶液的成本,使得整个检测操作方便快速,节省了检测时间,有利于对细胞计数的方法进行商业化推广应用。

    基于RFID概念的尿酸微波生物传感器及其应用

    公开(公告)号:CN113218967A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110577665.9

    申请日:2021-05-26

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于RFID概念的尿酸微波生物传感器,包括依次层叠设置的第一基板、第二基板和第三基板;第一基板设置有微流体通道,微流体通道包括腔体,利用腔体容置定量的待测溶液;第二基板设置有金属电容结构,金属电容结构与腔体校准并键合;第三基板上设置有谐振器模块,谐振器模块包括多个分离环,多个分离环相互嵌套构成互补结构。本发明尿酸微波生物传感器具有高品质因数,待测溶液固定在腔体中,以使检测位置及溶液形状均被固定,显著提高了其检测的灵敏度和精确度,而且在实现生物传感响应的测量时,能够提供一种近距离非接触/无线测量的可行性方案,使得整个检测操作方便快速,节省了检测时间,有利于商业化推广使用。

    宽频带低损耗定向耦合器及调频发射机系统

    公开(公告)号:CN114865265B

    公开(公告)日:2023-02-21

    申请号:CN202210668871.5

    申请日:2022-06-14

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种宽频带低损耗定向耦合器,包括测量端点;至少两条主路由测量端点连接构成,每条主路上设置有第一电感;电感支路由第二电感构成,电感支路连接于至少两条主路之间;电容支路由第一电容构成,电容支路连接于至少两条主路之间,电容支路与电感支路并联;接地旁路连接主路,接地旁路上设置有第二电容。本发明基于IPD制造工艺并采用LC单元电路拓扑结构来设计定向耦合器,在兼顾器件小尺寸、易集成的同时,实现了低插入损耗、宽频带、弱耦合、强隔离等优异的射频性能。

    宽频带低损耗定向耦合器及调频发射机系统

    公开(公告)号:CN114865265A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210668871.5

    申请日:2022-06-14

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种宽频带低损耗定向耦合器,包括测量端点;至少两条主路由测量端点连接构成,每条主路上设置有第一电感;电感支路由第二电感构成,电感支路连接于至少两条主路之间;电容支路由第一电容构成,电容支路连接于至少两条主路之间,电容支路与电感支路并联;接地旁路连接主路,接地旁路上设置有第二电容。本发明基于IPD制造工艺并采用LC单元电路拓扑结构来设计定向耦合器,在兼顾器件小尺寸、易集成的同时,实现了低插入损耗、宽频带、弱耦合、强隔离等优异的射频性能。

    酵母菌测试用高灵敏度微波生物传感器及其应用

    公开(公告)号:CN113218968B

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202110579233.1

    申请日:2021-05-26

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种酵母菌测试用高灵敏度微波生物传感器,包括层叠设置的第一基板和第二基板;第一基板设置有微流体通道,微流体通道包括腔体,利用腔体容置定量的待测溶液;第二基板设置有微波谐振器,微波谐振器包括金属电容结构和金属电感结构,金属电容结构包括级联型交指电容,金属电感结构包括蜿蜒型电感,级联型交指电容与蜿蜒型电感并联,级联型交指电容与腔体校准并键合。本发明级联型交指电容与蜿蜒型电感并联,极大地提高了器件的品质因数,同时减小了器件的芯片尺寸,显著提高了其检测的灵敏度和精确度,而且实现了微量定量检测,极大地降低了测试溶液的成本,使得整个检测操作方便快速,节省了检测时间,有利于对细胞计数的方法进行商业化推广应用。

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