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公开(公告)号:CN115863422A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202211184149.0
申请日:2022-09-27
Applicant: 汉阳大学校ERICA产学协力团 , 亚洲大学校产学协力团
IPC: H01L29/778 , H01L29/423 , H01L21/34
Abstract: 提供了一种电子装置,所述电子装置包括:下材料膜;上材料膜,在所述下材料膜上;二维电子气,在所述下材料膜与所述上材料膜之间;源电极,在所述上材料膜上;漏电极,在所述上材料膜上;以及栅电极,在所述上材料膜上,其中,所述上材料膜包括与所述源电极接触的第一部、与所述栅电极接触的第二部和与所述漏电极接触的第三部,其中,所述上材料膜的所述第二部的厚度比所述上材料膜的所述第一部的厚度和所述上材料膜的所述第三部的厚度中的每个大,其中,通过调整所述上材料膜的所述第一部的所述厚度、所述第二部的所述厚度和所述第三部的所述厚度来调整电压降和阈值电压。
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公开(公告)号:CN115881807A
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202211184528.X
申请日:2022-09-27
Applicant: 汉阳大学校ERICA产学协力团 , 亚洲大学校产学协力团
IPC: H01L29/778 , H01L29/423 , H01L21/34
Abstract: 提供了一种电子装置,所述电子装置包括:第一下材料膜;第一上材料膜,在所述第一下材料膜上;第一二维电子气,在所述第一下材料膜与所述第一上材料膜之间;第二下材料膜,在所述第一上材料膜上;第二上材料膜,在所述第二下材料膜上;第二二维电子气,在所述第二下材料膜与所述第二上材料膜之间;源电极,在所述第二上材料膜上;漏电极,在所述第二上材料膜上;栅极绝缘膜,在所述第二上材料膜上;以及栅电极,在所述栅极绝缘膜上。
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