公开(公告)号：CN112105889A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201980030769.9

申请日：2019-05-08

Applicant: 汉阳大学校ERICA产学协力团

Inventor： 赵南圭 ,  金敏圭 ,  白尚祐

IPC: G01B21/30 ,  G01B21/20 ,  G06F17/10 ,  G01B21/32

Abstract: 公开对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。

公开(公告)号：CN112105889B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN201980030769.9

申请日：2019-05-08

Applicant: 汉阳大学校ERICA产学协力团

Inventor： 赵南圭 ,  金敏圭 ,  白尚祐

IPC: G01B21/30 ,  G01B21/20 ,  G06F17/10 ,  G01B21/32

Abstract: 公开对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。

公开(公告)号：CN114964126A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210628357.9

申请日：2019-05-08

Applicant: 汉阳大学校ERICA产学协力团

Inventor： 赵南圭 ,  金敏圭 ,  白尚祐

IPC: G01B21/30 ,  G01B21/20 ,  G01B21/32 ,  G06F17/14 ,  G06F17/10

Abstract: 本发明揭示对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。