一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法

    公开(公告)号:CN113804518A

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN202111146625.5

    申请日:2021-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置,包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路;还公开了其取样方法,通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通,利用真空发生器将样品气作为引射介质形成负压区,将耐高压储气瓶内的空气吸走从第四管路排出,形成较低的真空度,实现抽真空置换过程;通过三通阀的切换使得第四管路与第三管路相通,实现进气采样过程;将取样装置第一管路与分析仪器连接,打开微量调节阀调节进样完成分析过程。本发明只需一次真空置换即可完成采样,提高了分析效率,瓶内真空度量化,提高了平行采样的一致性,抽真空过程无需电耗,适合无电野外环境等,扩大了适用范围。

    一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法

    公开(公告)号:CN113804518B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202111146625.5

    申请日:2021-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置,包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路;还公开了其取样方法,通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通,利用真空发生器将样品气作为引射介质形成负压区,将耐高压储气瓶内的空气吸走从第四管路排出,形成较低的真空度,实现抽真空置换过程;通过三通阀的切换使得第四管路与第三管路相通,实现进气采样过程;将取样装置第一管路与分析仪器连接,打开微量调节阀调节进样完成分析过程。本发明只需一次真空置换即可完成采样,提高了分析效率,瓶内真空度量化,提高了平行采样的一致性,抽真空过程无需电耗,适合无电野外环境等,扩大了适用范围。

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