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公开(公告)号：CN106241728A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201510331219.4
申请日：2015-06-15
Applicant: 武汉理工大学
Inventor： 何亮 , 杨艳娟 , 麦立强 , 王云飞 , 王成致
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于微纳器件湿法加工的铁氟龙装置，包含一体化握杆、样品台、滑杆，所述握杆的中央设置有移动滑杆所需的轨道，所述样品台上设置有样品的卡槽，所述滑杆的上端设置有卡槽。本发明可以很方便的固定样品和进行操作，适用于各种尺寸的样品，整个处理过程高效可靠、使用方便、操作性强，可为后续的器件制作打下坚实基础。
