公开(公告)号：CN119008464B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411103446.7

申请日：2024-08-13

Applicant: 武汉工程大学

Inventor： 柯超 ,  常桂贤 ,  游小满

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  B08B3/12

Abstract: 本发明涉及晶圆清洗领域，具体的公开了一种半导体晶片加工用智能化槽式清洗装置，包括底壳，所述底壳的上方滑动安装有电动滑块，电动滑块的底部固定连接有多个夹持组件，夹持组件上夹持有花篮，底壳的顶部一端设置有传送带，底壳的顶部开设有多个清洗槽，清洗槽位于底壳远离传送带的一端。通过喷淋水的喷洒，一方面能够有效的防止悬浮的杂质进入到该装置中，能够有效的将空气中悬浮的杂质洗刷掉，另一方面也能够对晶圆进行有效的喷洒，促进清洗槽对晶圆的清洗效果。在花篮从一个清洗槽中移动至另一个清洗槽的过程中，也能够对晶圆的表面进行有效的清洗。

公开(公告)号：CN119008464A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411103446.7

申请日：2024-08-13

Applicant: 武汉工程大学

Inventor： 柯超 ,  常桂贤 ,  游小满

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  B08B3/12

Abstract: 本发明涉及晶圆清洗领域，具体的公开了一种半导体晶片加工用智能化槽式清洗装置，包括底壳，所述底壳的上方滑动安装有电动滑块，电动滑块的底部固定连接有多个夹持组件，夹持组件上夹持有花篮，底壳的顶部一端设置有传送带，底壳的顶部开设有多个清洗槽，清洗槽位于底壳远离传送带的一端。通过喷淋水的喷洒，一方面能够有效的防止悬浮的杂质进入到该装置中，能够有效的将空气中悬浮的杂质洗刷掉，另一方面也能够对晶圆进行有效的喷洒，促进清洗槽对晶圆的清洗效果。在花篮从一个清洗槽中移动至另一个清洗槽的过程中，也能够对晶圆的表面进行有效的清洗。

公开(公告)号：CN222097516U

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202420851095.7

申请日：2024-04-22

Applicant: 武汉工程大学

Inventor： 段永莹 ,  乔叶子 ,  姚佳琪 ,  顿魏星 ,  刘洋 ,  孙紫涵 ,  常桂贤

IPC: B60N3/02 ,  B08B1/14 ,  B08B1/20 ,  A61L2/10

Abstract: 本实用新型涉及一种自动消毒公交车把手，属于公交车把手领域，包括有外壳，外壳内壁上安装有滑块，两个滑块之间安装有转轴，转轴上固接有环形把手，环形把手一侧由外壳底部伸出供人抓取；环形把手一侧端面上绕轴线均匀开设有若干通槽，外壳与通槽相对的一侧内壁上固接有卡块；外壳内侧壁上设置有用于为环形把手消毒的消毒元件。本实用新型的有益效果是：当乘员抓取环形把手时，拉动环形把手向下方运动，卡块卡入通槽内自锁，环形把手被限制无法转动，避免动力源因故障误启动环形把手伤人，使用更加安全；乘员松开手后，滑块向上运动，卡块脱离通槽，动力源驱动环形把手转动，消毒元件对环形把手进行清洁，提高了安全性，减少细菌传播。