公开(公告)号：CN114682064B

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202210368709.1

申请日：2022-04-08

Applicant: 武汉大学

Inventor： 杨皓霖 ,  闫永旭 ,  肖淞 ,  李寒 ,  殷诣康 ,  李祎 ,  陈钇江

IPC: B01D53/32

Abstract: 本发明公开了一种SF6废气的射频放电降解方法，所述方法包括：将SF6、O2和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的比例混合，获得混合气体；将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持在0.3～1Torr的低压。本发明用射频等离子体降解SF6可以极大提高污染物的去除率和吸收率，同时降解率高经检测SF6的降解率达到了88～92％。

公开(公告)号：CN114682064A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210368709.1

申请日：2022-04-08

Applicant: 武汉大学

Inventor： 杨皓霖 ,  闫永旭 ,  肖淞 ,  李寒 ,  殷诣康 ,  李祎 ,  陈钇江

IPC: B01D53/32

Abstract: 本发明公开了一种SF6废气的射频放电降解方法，所述方法包括：将SF6、O2和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的比例混合，获得混合气体；将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持在0.3～1Torr的低压。本发明用射频等离子体降解SF6可以极大提高污染物的去除率和吸收率，同时降解率高经检测SF6的降解率达到了88～92％。