公开(公告)号：CN111293196A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN202010021762.5

申请日：2020-01-09

Applicant: 武汉大学

Inventor： 张顺平 ,  唐继博 ,  胡华天 ,  何小波 ,  徐红星

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种电驱动光学天线光源及其制作方法，该光源包括：SOI基底、金属电极、硅波导和纳米尺度的光学天线；金属电极和硅波导均设置在所述SOI基底的表面，金属电极分别与所述外接电路的高压端和低压端连接；硅波导分别与金属电极连接且硅波导之间形成一个沟槽；光学天线位于所述沟槽内与两个硅波导接触，光学天线包括金属纳米颗粒以及均匀覆盖在其外表面的一层绝缘介质层。本发明具有响应速度快、耦合效率高、集成度高的优点。

公开(公告)号：CN212136467U

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202020042280.3

申请日：2020-01-09

Applicant: 武汉大学

Inventor： 张顺平 ,  唐继博 ,  胡华天 ,  何小波 ,  徐红星

IPC: H01L33/00

Abstract: 本实用新型公开了一种电驱动光学天线光源，该光源包括：SOI基底、金属电极、硅波导和纳米尺度的光学天线；金属电极和硅波导均设置在所述SOI基底的表面，金属电极分别与所述外接电路的高压端和低压端连接；硅波导分别与金属电极连接且硅波导之间形成一个沟槽；光学天线位于所述沟槽内与两个硅波导接触，光学天线包括金属纳米颗粒以及均匀覆盖在其外表面的一层绝缘介质层。本实用新型具有响应速度快、耦合效率高、集成度高的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利