光学测量装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107063127A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201611059428.9

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 本发明提供一种光学测量装置,通过提高光的利用效率,能够实现更高采样率。光学测量装置具有:光源,其产生具有多个波长成分的照射光;光学系统,其对来自光源的照射光产生轴向色差,并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光;分光器,其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光;检测器,其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为,在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时,多个受光元件中入射该第一光的受光元件,与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时,多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

    传感头
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110274539A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910111202.6

    申请日:2019-02-12

    Abstract: 本发明提供一种确保测量精度并且可实现小型化的传感头。传感头(100)包括呈大致圆筒形状且端部经开放的第一壳部(2)及第二壳部(3)、以及将第一壳部(2)与第二壳部(3)连接的第三壳部(13),在第一壳部(2)的内部配置有衍射透镜(5),在第二壳部(3)的内部配置有物镜(7),在第三壳部(13)的内部配置有镜子构件(135),所述镜子构件(135)使从衍射透镜(5)侧入射的光朝向物镜(7)侧弯曲。

    传感头
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109597049A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811055201.6

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种能提高设置自由度的传感头。传感头(100)为对测量对象物(200)的位移进行测量的传感器的传感头,且包括使所入射的光沿着光轴方向产生色差的衍射透镜、在内部至少收容着衍射透镜的壳部(5)、以及用于对固定对象物进行固定的固定部(11)及固定部(12),壳部(5)具有外形为圆柱形状的圆柱部(10),在圆柱部(10)的中心轴方向观察时,固定部(11)、固定部(12)的外形收纳在圆柱部(10)的外形以内。

    传感头
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110274539B

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201910111202.6

    申请日:2019-02-12

    Abstract: 本发明提供一种确保测量精度并且可实现小型化的传感头。传感头(100)包括呈大致圆筒形状且端部经开放的第一壳部(2)及第二壳部(3)、以及将第一壳部(2)与第二壳部(3)连接的第三壳部(13),在第一壳部(2)的内部配置有衍射透镜(5),在第二壳部(3)的内部配置有物镜(7),在第三壳部(13)的内部配置有镜子构件(135),所述镜子构件(135)使从衍射透镜(5)侧入射的光朝向物镜(7)侧弯曲。

    共焦测量装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108571929B

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN201711379516.1

    申请日:2017-12-19

    Abstract: 本发明实现能够以紧凑的装置结构来扩大测定范围的共焦测量装置。共焦测量装置(1A)的结构包括:衍射透镜(11),使从白色LED光源(21)出射的光产生色差;衍射透镜(13b),使通过衍射透镜(11)的光的色差增加;以及接物透镜(12),聚光于测量对象范围,以使经聚光的光具有沿着光轴的色差。

    光学测量装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107063127B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201611059428.9

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 本发明提供一种光学测量装置,通过提高光的利用效率,能够实现更高采样率。光学测量装置具有:光源,其产生具有多个波长成分的照射光;光学系统,其对来自光源的照射光产生轴向色差,并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光;分光器,其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光;检测器,其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为,在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时,多个受光元件中入射该第一光的受光元件,与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时,多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

    光学测量装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110260784A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201811516896.3

    申请日:2018-12-12

    Abstract: 本发明提供一种进一步提高了测量对象物的位置的检测精度的光学测量装置。本发明的光学测量装置包括:光源(10),输出多个波长的光;传感头(100),包括将经由包含多个纤芯的导光部(50)所入射的光转换成平行光的转换透镜(110)、及将产生了色差的光照射于测量对象物(200)的物镜(130);以及分光器(30),经由导光部(50)而获取经测量对象物(200)反射并由传感头(100)聚光的反射光,测量反射光的光谱;且传感头(100)中,以抑制从导光部(50)所含的多个纤芯(202)中的一个纤芯出射的光作为反射光而入射至一个纤芯以外的纤芯的方式,在转换透镜(110)与物镜(130)之间配置有遮蔽光的遮蔽物(S)。

    光学测量装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110260784B

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN201811516896.3

    申请日:2018-12-12

    Abstract: 本发明提供一种进一步提高了测量对象物的位置的检测精度的光学测量装置。本发明的光学测量装置包括:光源(10),输出多个波长的光;传感头(100),包括将经由包含多个纤芯的导光部(50)所入射的光转换成平行光的转换透镜(110)、及将产生了色差的光照射于测量对象物(200)的物镜(130);以及分光器(30),经由导光部(50)而获取经测量对象物(200)反射并由传感头(100)聚光的反射光,测量反射光的光谱;且传感头(100)中,以抑制从导光部(50)所含的多个纤芯(202)中的一个纤芯出射的光作为反射光而入射至一个纤芯以外的纤芯的方式,在转换透镜(110)与物镜(130)之间配置有遮蔽光的遮蔽物(S)。

    传感头
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109597049B

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN201811055201.6

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种能提高设置自由度的传感头。传感头(100)为对测量对象物(200)的位移进行测量的传感器的传感头,且包括使所入射的光沿着光轴方向产生色差的衍射透镜、在内部至少收容着衍射透镜的壳部(5)、以及用于对固定对象物进行固定的固定部(11)及固定部(12),壳部(5)具有外形为圆柱形状的圆柱部(10),在圆柱部(10)的中心轴方向观察时,固定部(11)、固定部(12)的外形收纳在圆柱部(10)的外形以内。

    传感头
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109596050A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811053691.6

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种确保测量精度并且能实现小型化的传感头。传感头(100)的壳(1)具有呈以作为光轴的轴(AX)为中心轴的大致圆筒形状且端部经开放的第一壳部(2)及第二壳部(3)、以及呈以轴(AX)为中心轴的大致圆环形状的连接构件(6)。第一壳部(2)及第二壳部(3)通过形成在各自的内周面的内螺纹部(2a)、内螺纹部(3d)与连接构件(6)的外螺纹部(6a)螺合而相互连接。

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