阀元件以及阀元件的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117751255A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202280051716.7

    申请日:2022-12-27

    Abstract: 一种阀元件,是用于控制流体的流通的阀元件,其中,具有:第一可动电极部,具备供所述流体流通的流体导入口;第二可动电极部,具备供所述流体排出的排出口,该第二可动电极部配置为以覆盖所述流体导入口的方式从所述第一可动电极部间隔地设置;间隔部,确保所述第一可动电极部与所述第二可动电极部的所述间隔;以及框架部,形成与所述流体导入口连通的背腔并且支承所述第一可动电极部,所述阀元件构成为:能通过静电引力来使所述第一可动电极部与所述第二可动电极部相吸引从而将所述流体导入口密封,其中,所述静电引力通过对所述第一可动电极和所述第二可动电极施加电压而产生。

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