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公开(公告)号:CN119665833A
公开(公告)日:2025-03-21
申请号:CN202411961090.0
申请日:2024-12-30
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于成像扫描的位移测量系统设计方法。其特征是:位移测量系统由光源、准直透镜、标尺光栅、线阵CCD、信号处理电路组成,其中标尺光栅由绝对码和增量码组成,绝对码采用自然二进制编码,用于获取绝对位置信息,增量码则是周期性光栅刻线,实现信号的高细分。相对于传统方法,本系统的优势在于:仅使用一片标尺光栅进行成像扫描,简化了光路结构,使得测量系统更紧凑;标尺光栅绝对码具有定位作用,降低了累积误差对测量结果的影响,并通过增量码的高倍细分,达到微米级测量精度;标尺光栅的绝对码和增量码安排在同一码道,克服了传统绝对式编码的多码道编码问题,避免了多组光电探测器进行信号接收,进一步简化系统结构,提高系统的稳定性。本发明可用于微米级的位移测量,可广泛用于数显、数控机床以及测量仪器中。