公开(公告)号：CN108957167B

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201810470266.0

申请日：2018-05-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 尚玉玲 ,  于浩 ,  李元鑫 ,  李春泉 ,  杨哲 ,  陈熠 ,  谭伟鹏

IPC: G01R31/00

Abstract: 本发明公开了基于环形振荡器的TSV故障测试装置及测试方法，所述装置为：一组顺序连接的奇数个反相器、多路选择器、施密特触发器及与非门，顺序连接的施密特触发器和与非门设置在第一个反相器与第二个反相器之间，多路选择器设置在最后一个反相器与第一个反相器之间，上述部件构成闭合环路，形成环形振荡器结构TSV连接于第一个反相器和施密特触发器之间；所述方法包括：1）激活TSV测试模式；2）测试无故障TSV蒙特卡罗周期；3）获取TSV在开路故障下的蒙特卡罗周期；4）得到周期差；5）对周期差求平方和；6）计算周期差平方和的根值；7）拟合函数，完成测试。这种装置成本低、使用方便、操作灵活。这种方法测试时间短、测试精度高。

公开(公告)号：CN108957167A

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201810470266.0

申请日：2018-05-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 尚玉玲 ,  于浩 ,  李元鑫 ,  李春泉 ,  杨哲 ,  陈熠 ,  谭伟鹏

IPC: G01R31/00

Abstract: 本发明公开了基于环形振荡器的TSV故障测试装置及测试方法，所述装置为：一组顺序连接的奇数个反相器、多路选择器、施密特触发器及与非门，顺序连接的施密特触发器和与非门设置在第一个反相器与第二个反相器之间，多路选择器设置在最后一个反相器与第一个反相器之间，上述部件构成闭合环路，形成环形振荡器结构TSV连接于第一个反相器和施密特触发器之间；所述方法包括：1)激活TSV测试模式；2)测试无故障TSV蒙特卡罗周期；3)获取TSV在开路故障下的蒙特卡罗周期；4)得到周期差ΔT；5)对每列周期差ΔT求平方和6)计算每列周期差ΔT平方和的根值；7)拟合函数，完成测试。这种装置成本低、使用方便、操作灵活。这种方法测试时间短、测试精度高。