公开(公告)号：CN106181025B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201610752455.8

申请日：2016-08-29

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 龙芋宏 ,  周嘉 ,  陈天鸿 ,  鲍家定 ,  唐文斌 ,  刘清原 ,  毛建冬 ,  刘鑫

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/08 ,  B23K26/38

Abstract: 本发明为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法，本装置激光刻蚀工作台上固定支撑箱体，固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直，套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连，下端固连推杆底端，使推杆底端抵于凸轮侧面。固定于支撑箱体的凸轮轴轴套上安装位置传感器。凸轮长短径的差为激光刻蚀的最大深度。本使用方法加工开始激光聚焦于工件表面，控制中心据位置传感器信号掌握凸轮当前状态，控制电机，使凸轮短长径侧面轮流与推杆底端接触，工件随工作台沿切削路径步进，同时上下振动，激光束在工件上的烧蚀点始终处于激光聚焦的位置。振动还加速切槽中的残渣碎屑的排出，带走大量的热，提高激光刻蚀效率和质量。