公开(公告)号：CN112344859A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202010963122.6

申请日：2020-09-14

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 熊显名 ,  胡羽瑶 ,  张文涛 ,  曾启林 ,  杜浩

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提供的是一种基于光栅读头组合的位移测量方法，属于精密测量领域。其特征是：所述测量方法由建立光栅尺位移测量系统模型1、划分测量区域2、各自由度读头组合分析3、规划运动轨迹4和最优读头组合选取5五个部分组成。根据光栅尺位移测量系统模型1可得一个描述光栅尺测量计数与运动台之间变化关系的测量模型，采用光栅尺测量计数即可间接求解运动台位置。划分测量区域2可得小范围内不同读头组合的测量差异，提高系统精确度。规划运动轨迹4根据运动台的运动特性，模拟运动台的运动轨迹，得到各个光栅读头的干涉条纹数，干涉条纹数所包含的位移信息经位移测量系统模型解算，输出运动台当前的位置信息即运动台的六自由度。最优读头组合选取5选取在不同区域内各自由度误差最小的读头组合，在最小解算误差读头组合有变化时，临界区域进行读头切换，对全量程范围内测量时各自由度读头组合进行优化。本发明可用于运动台位移测量、机床定位、校准等领域。

公开(公告)号：CN112097653A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202010963136.8

申请日：2020-09-14

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 熊显名 ,  胡羽瑶 ,  张文涛 ,  杜浩 ,  曾启林 ,  张玉婷

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提供的是一种考虑安装误差的光栅读数头组合优化方法，属于精密测量领域。该优化方法包括：对测量系统安装误差进行定义；对安装误差项进行选取，分析各安装误差项，将主要影响测量系统的安装误差项进行摘取和分类；对所选取安装误差项的安装误差范围进行设定；将安装误差引入测量模型，通过各误差相互对比的方式得到不同安装误差下的模型误差变化量，建立含有安装误差的位移测量模型；规划运动台运动轨迹，解算各读数头组合下的运动台六自由度位置，计算测量误差并对误差最小的读数头组合进行选取，得到包含安装误差影响因素的光栅读数头组合。本发明内容可广泛应用于运动台安装误差分析、光栅尺位移系统的位移测量优化、机床定位、校准等领域。