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公开(公告)号:CN119255463A
公开(公告)日:2025-01-03
申请号:CN202411280017.7
申请日:2024-09-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种等离子体射流离子源、制备方法及应用,该等离子体射流离子源,包括:安装体,安装体为一体成型,安装体具有金属容纳腔、正极安装位、第一注入孔和载气流道;金属容纳腔为环状结构,位于安装体内形成负极安装位,与正极安装位相对设置,且二者之间具有预设间距;正电极,固定于正极安装位;负电极,填充于金属容纳腔内,负电极的材料的熔点低于安装体的材料的熔点。上述的等离子体射流离子源中,由于安装体为一体成型的结构,金属容纳腔和正极安装位的预设间距,可以精确的控制在1mm以内。正电极固定在正极安装位上,因此负电极和正电极的电极间距即为预设间距,达到了精确控制电极间距,准确控制放电间距的目的。
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公开(公告)号:CN119255462A
公开(公告)日:2025-01-03
申请号:CN202411198167.3
申请日:2024-08-29
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种等离子体射流喷嘴、FAIMS装置及应用。该等离子体射流喷嘴包括多级分流锥,等离子体射流每经过一层级分流锥,分流为沿分流锥的锥面流动的侧向流体和沿分流孔流动的中心流体。侧向流体流经支撑杆的后端分叉,形成多股均匀分布的等离子体流。中心流体逐级分流后,在最末一级分流孔的末端的开孔中分为多股等离子体流。而且各级分流锥的尺寸逐级缩小,使得每级分流中侧向流体的流量占比逐渐增大,保证后续层级形成的等离子体流具有足够流量,从而保证各层级的等离子体流的流速较为接近。该喷嘴结构较为简单,对加工精密度要求不高,使得等离子体射流形成多股流速接近的等离子体流,极大的增大等离子体射流的作用面积。
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