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公开(公告)号：CN106876441A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710087046.5
申请日：2017-02-17
IPC: H01L29/06
Abstract: 本发明公开一种具有固定界面电荷场限环的功率器件，包括场氧层和有源层，场氧层位于有源层之上。场氧层内设有至少1个固定界面电荷区，该固定界面电荷区位于场氧层的下部，并与场氧层的下表面即场氧层和有源层的交界面相接触。本发明能够克服现有功率器件的FLR区中的杂质扩散而导致的击穿电压下降和器件失效的问题，并有效提高了器件的击穿电压和改善了有源层表面的电场分布，使得电场分布更加均匀。
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公开(公告)号：CN106370368A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610918401.4
申请日：2016-10-20
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01M5/00 , G01M17/007
CPC classification number: G01M5/005 , G01M17/007
Abstract: 本发明涉及一种FSC赛车车架扭转与弯曲刚度的测量装置，包括底板、前支架、扭转支架、后支架和载荷施加装置，所述底板上设有供所述前支架、所述扭转支架和所述载荷施加装置纵向滑动的第一导轨，所述底板上的一端且对应所述第一导轨的延伸方向设有供所述后支架横向滑动的第二导轨；所述前支架、所述扭转支架和所述后支架将FSC赛车车架固定定位起来后，再通过所述载荷施加装置对FSC赛车车架施加载荷并计算得出其扭转与弯曲刚度值。本发明的有益效果是：该测量装置具有测量FSC赛车车架的扭转刚度以及弯曲刚度的功能，并且测量准确，为FSC赛车车架的研究提供极大的便利。
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公开(公告)号：CN106847925B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710087033.8
申请日：2017-02-17
IPC: H01L29/78 , H01L29/861 , H01L29/06 , H01L29/36
Abstract: 本发明提供一种具有表面反型固定界面电荷的功率器件，该功率器件包括场氧层和有源层，场氧层位于有源层之上；场氧层内还设有变掺杂的固定界面电荷区；固定电荷区的电荷极性与有源层离子所属的极性相反；固定界面电荷区位于场氧层的下部，并与场氧层的下表面即场氧层和有源层的交界面相接触。反型固定界面电荷之间相互作用，在场氧层中形成连续尖峰电场，该尖峰电场改善了有源层的电场分布，从而有效提高器件的击穿电压。同时，由于漂移区离子部分电力线终止于反型固定界面电荷，有源层优化掺杂浓度提高，导通电阻下降。
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公开(公告)号：CN106803518B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201710086446.4
申请日：2017-02-17
Abstract: 本发明公开一种基于场氧层电场调制的功率器件，通过在场氧层内引入同型变掺杂的同型固定界面电荷区电场分布与漂移区体电场相互调制，引入的新电场尖峰优化了漂移区的表面电场强度，使得表面电场分布更加均匀，从而提高器件的横向耐压特性。此外，变掺杂固定界面电荷区，不仅提高了器件的耐压特性，同时其固定电荷结构简单，受温度、应力影响较小，工艺容差高，与常用的漂移区内局部掺杂电荷的结构可同时使用，通过对引入的同型固定界面电荷区的面密度，分布区域，分布连续性进行优化，获取更佳的击穿电压，并提供更多的提高击穿电压的结构，可广泛运用于多种半导体功率器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106803518A
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201710086446.4
申请日：2017-02-17
Abstract: 本发明公开一种基于场氧层电场调制的功率器件，通过在场氧层内引入同型变掺杂的同型固定界面电荷区电场分布与漂移区体电场相互调制，引入的新电场尖峰优化了漂移区的表面电场强度，使得表面电场分布更加均匀，从而提高器件的横向耐压特性。此外，变掺杂固定界面电荷区，不仅提高了器件的耐压特性，同时其固定电荷结构简单，受温度、应力影响较小，工艺容差高，与常用的漂移区内局部掺杂电荷的结构可同时使用，通过对引入的同型固定界面电荷区的面密度，分布区域，分布连续性进行优化，获取更佳的击穿电压，并提供更多的提高击穿电压的结构，可广泛运用于多种半导体功率器件。
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公开(公告)号：CN106876441B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710087046.5
申请日：2017-02-17
IPC: H01L29/06
Abstract: 本发明公开一种具有固定界面电荷场限环的功率器件，包括场氧层和有源层，场氧层位于有源层之上。场氧层内设有至少1个固定界面电荷区，该固定界面电荷区位于场氧层的下部，并与场氧层的下表面即场氧层和有源层的交界面相接触。本发明能够克服现有功率器件的FLR区中的杂质扩散而导致的击穿电压下降和器件失效的问题，并有效提高了器件的击穿电压和改善了有源层表面的电场分布，使得电场分布更加均匀。
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公开(公告)号：CN106370368B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610918401.4
申请日：2016-10-20
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01M5/00 , G01M17/007
Abstract: 本发明涉及一种FSC赛车车架扭转与弯曲刚度的测量装置，包括底板、前支架、扭转支架、后支架和载荷施加装置，所述底板上设有供所述前支架、所述扭转支架和所述载荷施加装置纵向滑动的第一导轨，所述底板上的一端且对应所述第一导轨的延伸方向设有供所述后支架横向滑动的第二导轨；所述前支架、所述扭转支架和所述后支架将FSC赛车车架固定定位起来后，再通过所述载荷施加装置对FSC赛车车架施加载荷并计算得出其扭转与弯曲刚度值。本发明的有益效果是：该测量装置具有测量FSC赛车车架的扭转刚度以及弯曲刚度的功能，并且测量准确，为FSC赛车车架的研究提供极大的便利。
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公开(公告)号：CN106847925A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710087033.8
申请日：2017-02-17
IPC: H01L29/78 , H01L29/861 , H01L29/06 , H01L29/36
Abstract: 本发明提供一种具有表面反型固定界面电荷的功率器件，该功率器件包括场氧层和有源层，场氧层位于有源层之上；场氧层内还设有变掺杂的固定界面电荷区；固定电荷区的电荷极性与有源层离子所属的极性相反；固定界面电荷区位于场氧层的下部，并与场氧层的下表面即场氧层和有源层的交界面相接触。反型固定界面电荷之间相互作用，在场氧层中形成连续尖峰电场，该尖峰电场改善了有源层的电场分布，从而有效提高器件的击穿电压。同时，由于漂移区离子部分电力线终止于反型固定界面电荷，有源层优化掺杂浓度提高，导通电阻下降。
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公开(公告)号：CN206095555U
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201621144815.8
申请日：2016-10-20
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01M5/00 , G01M17/007
Abstract: 本实用新型涉及一种FSC赛车车架扭转与弯曲刚度的测量装置，包括底板、前支架、扭转支架、后支架和载荷施加装置，所述底板上设有供所述前支架、所述扭转支架和所述载荷施加装置纵向滑动的第一导轨，所述底板上的一端且对应所述第一导轨的延伸方向设有供所述后支架横向滑动的第二导轨；所述前支架、所述扭转支架和所述后支架将FSC赛车车架固定定位起来后，再通过所述载荷施加装置对FSC赛车车架施加载荷并计算得出其扭转与弯曲刚度值。本实用新型的有益效果是：该测量装置具有测量FSC赛车车架的扭转刚度以及弯曲刚度的功能，并且测量准确，为FSC赛车车架的研究提供极大的便利。
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