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发明公开
一种基于ZEMAX仿真的外差式光栅干涉仪读头系统信号分析方法无效

公开(公告)号：CN113865480A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202111127812.9

申请日：2021-09-18

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 熊显名 , 康森 , 杜浩 , 张文涛 , 曾启林 , 张玉婷 , 杨松

IPC: G01B9/02 , G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于ZEMAX仿真的外差式光栅干涉仪读头系统信号分析方法，用于分析光学系统中经过光学元件后探测器接收到的测量信号，在ZEMAX中需对各个光学元件建立仿真模型，根据光栅干涉仪位移测量的原理，在ZEMAX非序列模式下进行光栅干涉仪读头结构设计、光学元件选择，搭建光栅干涉仪测量系统仿真模型进行信号分析。根据光路的需求以及不同光学元件的特性，分别设置相应参数，得到光学元件参数对光学系统能量的影响。利用仿真结果对光学系统进行系统优化。

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