公开(公告)号：CN108519053A

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：CN201810337864.0

申请日：2018-04-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  党宝生 ,  张玉婷

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种用于测量运动台六自由度的装置，包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜与第二反射镜分别设置于运动台相邻的两个侧面，第三反射镜设置于第二反射镜所在侧面的下部且第三反射镜的反射面与第二反射镜的反射面呈钝角设置；还包括设置于运动台上的三个二维光栅尺测量读头；其中一个二维光栅测量读头沿第二反射镜所在侧面的边沿设置，另外两个二维光栅测量读头沿与第二反射镜面所在侧面相对的侧面的边沿设置；每个二维光栅尺测量读头对应一个平面光栅，二维光栅尺测量读头用于测量运动台与平面光栅间的相对位移。本发明满足使用激光干涉仪与平面光栅尺两套测量系统同时测量运动台六自由度的需求。

公开(公告)号：CN108519053B

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201810337864.0

申请日：2018-04-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  党宝生 ,  张玉婷

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种用于测量运动台六自由度的装置，包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜与第二反射镜分别设置于运动台相邻的两个侧面，第三反射镜设置于第二反射镜所在侧面的下部且第三反射镜的反射面与第二反射镜的反射面呈钝角设置；还包括设置于运动台上的三个二维光栅尺测量读头；其中一个二维光栅测量读头沿第二反射镜所在侧面的边沿设置，另外两个二维光栅测量读头沿与第二反射镜面所在侧面相对的侧面的边沿设置；每个二维光栅尺测量读头对应一个平面光栅，二维光栅尺测量读头用于测量运动台与平面光栅间的相对位移。本发明满足使用激光干涉仪与平面光栅尺两套测量系统同时测量运动台六自由度的需求。