公开(公告)号：CN111323278A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN202010204387.8

申请日：2020-03-21

Applicant: 桂林理工大学

Inventor： 刘奕志 ,  杨姗姗 ,  段炼 ,  杨锋 ,  苏博龙 ,  甘智杰 ,  廖邦 ,  郑国峰

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/2202 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/04 ,  G01N23/00 ,  G01N23/2251 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明是一种涉及电子探针、扫描电镜、透射电子显微镜等多种大型仪器的镀膜辅助设备--真空镀膜仪的样品架，属于实验设备制造技术领域，该装置包括水平固定样品装置、水平放置样品平台、竖立固定及放置样品装置，优点在于能够有效地扩增真空镀膜仪的可利用空间，提高仪器的空间利用率，提高仪器工作效率，同时有效地延长仪器的使用寿命，减少了机构的运营成本并，提供了更大的利益。