公开(公告)号：CN109958381A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201711338418.3

申请日：2017-12-14

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 冷桢 ,  李佳霖 ,  李泞 ,  谌继明 ,  王平怀 ,  刘世宇 ,  李建 ,  王焜 ,  陈新 ,  任元国

IPC: E06B7/16 ,  E06B7/28

Abstract: 本发明属于真空技术领域，具体为一种真空室门密封结构及真空腔室，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。

公开(公告)号：CN207715049U

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201721753008.0

申请日：2017-12-14

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 冷桢 ,  李佳霖 ,  李泞 ,  谌继明 ,  王平怀 ,  刘世宇 ,  李建 ,  王焜 ,  陈新 ,  任元国

IPC: E06B7/16 ,  E06B7/28

Abstract: 本实用新型属于真空技术领域，具体为一种真空室门密封结构，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利