一种大型内置式液氦低温泵的吸附结构组件

    公开(公告)号:CN104653433A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310585453.0

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 本发明属于一种液氦低温泵的吸附结构,具体涉及一种大型内置式液氦低温泵的吸附结构组件。它包括可扩展槽式低温冷面、折流板、屏蔽板、顶部接口法兰和内部管道,其中,可扩展的低温冷面及其管道回路设在组件内部,低温冷面及其管道回路外设有折流板和屏蔽板,折流板和屏蔽板顶部设有顶部接口法兰。其优点是,双回路结构分别对应液氮和液氦回路,既独立运行又有相互配合,通过合理分布低温温区,降低了运行成本;双层钣金结构的扩展槽式低温冷面,配合椰基活性炭材料的使用,提高了单位面积冷面的低温吸附能力;悬挂式法兰方形结构有效利用了方形真空容器的内部空间和接口,解决了低温泵大抽速与装置接口之间的矛盾。

    防金属喷涂的双杯罩离子源灯丝座结构

    公开(公告)号:CN101582364B

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200910148118.8

    申请日:2009-06-22

    Abstract: 本发明涉及离子源技术领域,具体公开了一种防金属喷涂的双杯罩离子源灯丝座结构,采用了简便的双杯罩反扣结构,在有限空间位置上,通过增加尽可能少的绝缘部件和尺寸变化,达到在恶劣工况下(钨灯丝喷涂和等离子体轰击等)仍能够绝缘的功能效果;上杯罩完全盖住钼杆的矩形块状结构,大大减少了容易受到的等离子体轰击,充分利用下杯罩和陶瓷直管之间的安全间隙起到更好的绝缘效果,避免了离子源金属壁阳极和灯丝阴极的短路现象,通过这个设计结构,解决了在大功率离子源研制过程中由于灯丝喷涂和等离子体轰击造成的座体陶瓷绝缘部分因为金属镀膜短路的问题,大大提高了实验安全系数,同时也延长了灯丝和陶瓷件的使用寿命。

    防金属喷涂的双杯罩离子源灯丝座结构

    公开(公告)号:CN101582364A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200910148118.8

    申请日:2009-06-22

    Abstract: 本发明涉及离子源技术领域,具体公开了一种防金属喷涂的双杯罩离子源灯丝座结构,采用了简便的双杯罩反扣结构,在有限空间位置上,通过增加尽可能少的绝缘部件和尺寸变化,达到在恶劣工况下(钨灯丝喷涂和等离子体轰击等)仍能够绝缘的功能效果;上杯罩完全盖住钼杆的矩形块状结构,大大减少了容易受到的等离子体轰击,充分利用下杯罩和陶瓷直管之间的安全间隙起到更好的绝缘效果,避免了离子源金属壁阳极和灯丝阴极的短路现象,通过这个设计结构,解决了在大功率离子源研制过程中由于灯丝喷涂和等离子体轰击造成的座体陶瓷绝缘部分因为金属镀膜短路的问题,大大提高了实验安全系数,同时也延长了灯丝和陶瓷件的使用寿命。

    一种大型内置式液氦低温泵的吸附结构组件

    公开(公告)号:CN203856673U

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:CN201320736100.1

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 本实用新型属于一种液氦低温泵的吸附结构,具体涉及一种大型内置式液氦低温泵的吸附结构组件。它包括可扩展槽式低温冷面、折流板、屏蔽板、顶部接口法兰和内部管道,其中,可扩展的低温冷面及其管道回路设在组件内部,低温冷面及其管道回路外设有折流板和屏蔽板,折流板和屏蔽板顶部设有顶部接口法兰。其优点是,双回路结构分别对应液氮和液氦回路,既独立运行又有相互配合,通过合理分布低温温区,降低了运行成本;双层钣金结构的扩展槽式低温冷面,配合椰基活性炭材料的使用,提高了单位面积冷面的低温吸附能力;悬挂式法兰方形结构有效利用了方形真空容器的内部空间和接口,解决了低温泵大抽速与装置接口之间的矛盾。

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