光取向用曝光装置及光取向用曝光方法

    公开(公告)号:CN113366380A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201980090616.3

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种光取向曝光装置,进行稳定地形成预倾角的倾斜曝光法,该光取向曝光装置中,能够使用廉价的散射光源(体积光源),并且即使为紧凑的形态也能够进行均匀的光照射。本发明的光取向用曝光装置(1),对成为光取向膜的被照射面进行偏振扫描曝光,其具备:光源(2),朝向被照射面射出散射光;光学滤波器(3),在从光源(2)射出的光中选择性地射出光取向膜的感光波长;及光限制部件(4),将通过了光学滤波器(3)的光限制成在扫描方向(X)的前后方向上非对称,光学滤波器(3)具有如下波长透射特性:通过沿扫描方向(X)的照射角度相对于被照射面的法线方向为设定角度(θs)以上的倾斜曝光,感光波长的光的透射率成为峰值。

Patent Agency Ranking