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公开(公告)号:CN105917024A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201580003858.6
申请日:2015-02-17
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京大学
IPC: C23C16/42
Abstract: 向在电炉(10)内容纳的如预制体那样的具有微细结构的基材(100)供给含有原料气体、添加气体以及载流气体的混合气体,利用化学气相沉积法或化学气相含浸法沉积碳化硅来进行制膜,通过在原料气体中添加的添加气体的添加量来控制制膜的生长速度和埋入均匀性,所述原料气体含有四甲基硅烷,所述添加气体含有如氯化氢、氯代甲烷这样的含氯分子,在陶瓷纤维的预制体中含浸碳化硅的耐热复合材料的制造中,兼顾碳化硅的制膜的生长速度和埋入均匀性。
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公开(公告)号:CN105917024B
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201580003858.6
申请日:2015-02-17
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京大学
IPC: C23C16/42
Abstract: 向在电炉(10)内容纳的如预制体那样的具有微细结构的基材(100)供给含有原料气体、添加气体以及载流气体的混合气体,利用化学气相沉积法或化学气相含浸法沉积碳化硅来进行制膜,通过在原料气体中添加的添加气体的添加量来控制制膜的生长速度和埋入均匀性,所述原料气体含有四甲基硅烷,所述添加气体含有如氯化氢、氯代甲烷这样的含氯分子,在陶瓷纤维的预制体中含浸碳化硅的耐热复合材料的制造中,兼顾碳化硅的制膜的生长速度和埋入均匀性。
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公开(公告)号:CN104619881A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201380042867.7
申请日:2013-02-15
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: C23C16/325 , C23C16/045 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 在将碳化硅浸渍于陶瓷纤维预制体的耐热复合材料的制造中,兼顾碳化硅的制膜的生长速度与包埋均一性。通过化学气相沉积法或化学气相浸渍法将碳化硅沉积于反应炉11所容纳的预制体100进行制膜,通过加入供给于反应炉11的原料气体及运载气体的添加气体的添加量来控制制膜的生长速度与包埋均一性。在制膜遵从一级反应的情况下,通过添加气体的添加量来控制制膜种的附着概率,在制膜遵从朗谬尔-欣谢伍德型速度式的情况下,通过添加气体的添加量进行控制,使得利用朗谬尔-欣谢伍德型速度式的零级反应区。
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公开(公告)号:CN105814234B
公开(公告)日:2018-03-02
申请号:CN201580003002.9
申请日:2015-02-25
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: C04B41/4531 , C04B35/565 , C04B35/806 , C04B41/009 , C04B41/5059 , C04B41/87 , C04B2235/5244 , C04B2235/5248 , C04B2235/5252 , C04B2235/5256 , C04B2235/614 , C23C16/045 , C23C16/325
Abstract: 本发明提供一种耐热复合材料的制造方法,是向在电炉(10)中容纳的预制体(100)供给包含原料气体、添加气体和载气的混合气体,利用化学气相沉积法或化学气相渗透法使碳化硅炭硅沉积,从而进行制膜的方法,预制体100包含多个纤维束,纤维束包含多根纤维,所述方法包含:使碳化硅沉积于纤维之间来将构成所述纤维束的纤维之间一体化的步骤和使碳化硅沉积于纤维束之间而将纤维束之间一体化的步骤,在碳化硅含浸于陶瓷纤维预制体而得的耐热复合材料的制造中,兼顾碳化硅的制膜的生长速度和包埋的均匀性。
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公开(公告)号:CN105814234A
公开(公告)日:2016-07-27
申请号:CN201580003002.9
申请日:2015-02-25
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: C04B41/4531 , C04B35/565 , C04B35/806 , C04B41/009 , C04B41/5059 , C04B41/87 , C04B2235/5244 , C04B2235/5248 , C04B2235/5252 , C04B2235/5256 , C04B2235/614 , C23C16/045 , C23C16/325
Abstract: 本发明提供一种耐热复合材料的制造方法,是向在电炉(10)中容纳的预制体(100)供给包含原料气体、添加气体和载气的混合气体,利用化学气相沉积法或化学气相渗透法使碳化硅炭硅沉积,从而进行制膜的方法,预制体100包含多个纤维束,纤维束包含多根纤维,所述方法包含:使碳化硅沉积于纤维之间来将构成所述纤维束的纤维之间一体化的步骤和使碳化硅沉积于纤维束之间而将纤维束之间一体化的步骤,在碳化硅含浸于陶瓷纤维预制体而得的耐热复合材料的制造中,兼顾碳化硅的制膜的生长速度和包埋的均匀性。
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