小型倾斜振动传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101292319B

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN200680038739.5

    申请日:2006-08-17

    Inventor: 岛濑照雄

    Abstract: 本发明提供一种小型倾斜振动传感器及其制造方法。该倾斜振动传感器内装有多个电极和导电性球体,利用该球体的移动位移进行接通、断开动作,具体提供一种可大幅度地小型化,并且性能、工作灵敏度较高,且具有耐久性及高可靠性的小型倾斜振动传感器及其制造方法。传感器的壳体主体(1)由壳体主体(5)和气密地封闭该壳体主体的开口部(6)的盖体(7)构成,该壳体主体与盖体分别由可阻止会对由导电性球体的移动位移进行的接通、断开动作带来不良影响的气体透过的、气体屏障性及耐热性优良的非导电性材料形成,及从上述壳体(1)的空洞部(2)内除去会对接通、断开动作带来不良影响的水分及粒子状的杂质,且使该空洞部内成为真空。

    小型倾斜振动传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101292319A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200680038739.5

    申请日:2006-08-17

    Inventor: 岛濑照雄

    Abstract: 本发明提供一种小型倾斜振动传感器及其制造方法。该倾斜振动传感器内装有多个电极和导电性球体,利用该球体的移动位移进行接通、断开动作,具体提供一种可大幅度地小型化,并且性能、工作灵敏度较高,且具有耐久性及高可靠性的小型倾斜振动传感器及其制造方法。传感器的壳体主体(1)由壳体主体(5)和气密地封闭该壳体主体的开口部(6)的盖体(7)构成,该壳体主体与盖体分别由可阻止会对由导电性球体的移动位移进行的接通、断开动作带来不良影响的气体透过的、气体屏障性及耐热性优良的非导电性材料形成,及从上述壳体(1)的空洞部(2)内除去会对接通、断开动作带来不良影响的水分及粒子状的杂质,且使该空洞部内成为真空。

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