公开(公告)号：CN104822662B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201380062293.X

申请日：2013-11-27

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 柳澤智史 ,  藤田昌平 ,  南岛拓也 ,  滋野浩一

IPC: C07D221/14 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07D221/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0385

Abstract: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且具有良好的产酸率的化合物、使用其的光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物，其特征在于，其用下述通式(I)表示。(式(I)中，X表示碳数1～12的直链或支链烷基，R为碳数1～18的脂肪族烃基等。)

公开(公告)号：CN104822662A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380062293.X

申请日：2013-11-27

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 柳澤智史 ,  藤田昌平 ,  南岛拓也 ,  滋野浩一

IPC: C07D221/14 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07D221/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0385 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且具有良好的产酸率的化合物、使用其的光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物，其特征在于，其用下述通式(I)表示。(式(I)中，X表示碳数1～12的直链或支链烷基，R为碳数1～18的脂肪族烃基等。)。