光斑形状检测装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108340071B

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201810029001.7

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 提供光斑形状检测装置,在短时间内高效地对从激光振荡器照射的激光光线的准确的光斑形状进行检测。光斑形状检测装置(1)对从激光振荡器(30)振荡出的激光光线(LB1)的光斑形状进行检测,其中,该光斑形状检测装置具有:聚光透镜(31),其对激光振荡器所振荡的激光光线进行会聚;旋转体(镜保持器6),其将对通过了聚光透镜的激光光线进行反射的多个镜(6a’~6q’)配设在同心圆上;驱动源(电动机7),其使旋转体按照规定的周期进行旋转;分束器(32),其对由旋转体的多个镜反射的激光光线的返回光(LB2)进行分支;拍摄组件(33),其配设在返回光借助分束器而分支的方向上,对返回光的光斑形状进行拍摄;以及显示单元(m),其使由拍摄组件拍摄的图像与多个镜相关联地进行显示。

    光斑形状检测装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108340071A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201810029001.7

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 提供光斑形状检测装置,在短时间内高效地对从激光振荡器照射的激光光线的准确的光斑形状进行检测。光斑形状检测装置(1)对从激光振荡器(30)振荡出的激光光线(LB1)的光斑形状进行检测,其中,该光斑形状检测装置具有:聚光透镜(31),其对激光振荡器所振荡的激光光线进行会聚;旋转体(镜保持器6),其将对通过了聚光透镜的激光光线进行反射的多个镜(6a’~6q’)配设在同心圆上;驱动源(电动机7),其使旋转体按照规定的周期进行旋转;分束器(32),其对由旋转体的多个镜反射的激光光线的返回光(LB2)进行分支;拍摄组件(33),其配设在返回光借助分束器而分支的方向上,对返回光的光斑形状进行拍摄;以及显示单元(m),其使由拍摄组件拍摄的图像与多个镜相关联地进行显示。

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