具有光栅结构的平面光波导装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102483490A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200980161034.6

    申请日:2009-08-25

    Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法,所述平面光波导装置包括芯线,其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部,所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体,所述方法包括:形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤;在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤;通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤;和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。

    具有光栅结构的平面光波导装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102483490B

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN200980161034.6

    申请日:2009-08-25

    Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法,所述平面光波导装置包括芯线,其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部,所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体,所述方法包括:形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤;在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤;通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤;和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。

    天线
    5.
    发明授权
    天线 有权

    公开(公告)号:CN112189281B

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN201980034586.4

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明使能够较高地控制天线指向性的范围广角化。天线(1)具备片状的层叠体(2),层叠体(2)具有导体图案层(20)、第一电介质层(11)、接地导体层(30)以及天线图案层(40),天线图案层(40)具有并列的多个元件列(41),元件列(41)具有偶数体的辐射元件(42~45),该辐射元件(42~45)在相对于元件列(41)的并列方向正交的方向上隔开间隔地排列成一条直线状并且被串联连接,导体图案层(20)具有向各元件列(41)的中央供电的多个供电线路(21),层叠体(2)在弯折线(4)处被弯折,由此元件列(41)以弯折线(4)为界被分成多个群组。

    天线
    6.
    发明公开
    天线 有权

    公开(公告)号:CN112189281A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201980034586.4

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明使能够较高地控制天线指向性的范围广角化。天线(1)具备片状的层叠体(2),层叠体(2)具有导体图案层(20)、第一电介质层(11)、接地导体层(30)以及天线图案层(40),天线图案层(40)具有并列的多个元件列(41),元件列(41)具有偶数体的辐射元件(42~45),该辐射元件(42~45)在相对于元件列(41)的并列方向正交的方向上隔开间隔地排列成一条直线状并且被串联连接,导体图案层(20)具有向各元件列(41)的中央供电的多个供电线路(21),层叠体(2)在弯折线(4)处被弯折,由此元件列(41)以弯折线(4)为界被分成多个群组。

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