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公开(公告)号:CN102483490A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200980161034.6
申请日:2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/1223 , B82Y20/00 , G02B6/124 , G02B6/136 , G02B2006/12107
Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法,所述平面光波导装置包括芯线,其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部,所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体,所述方法包括:形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤;在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤;通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤;和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。
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公开(公告)号:CN102483490B
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN200980161034.6
申请日:2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/1223 , B82Y20/00 , G02B6/124 , G02B6/136 , G02B2006/12107
Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法,所述平面光波导装置包括芯线,其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部,所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体,所述方法包括:形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤;在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤;通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤;和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。
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公开(公告)号:CN102483491B
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN200980161036.5
申请日:2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/136 , B82Y20/00 , G02B6/1223 , G02B6/124 , G02B2006/12107
Abstract: 一种用于制造平面光波导装置的方法,该平面光波导装置的芯线包括多个交替布置的凸部和凹部以形成光栅结构,在该光栅结构中,凹部的芯线宽度沿纵向方向变化,该方法包括:高折射率材料层形成步骤,形成高折射率材料层;光刻胶层形成步骤,在高折射率材料层上形成光刻胶层;第一曝光步骤,使用相移光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分;第二曝光步骤,使用二元光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分;显影步骤,对光刻胶层进行显影;以及蚀刻步骤,使用从显影步骤得到的光刻胶图案对高折射率材料层进行蚀刻。
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公开(公告)号:CN102483491A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200980161036.5
申请日:2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/136 , B82Y20/00 , G02B6/1223 , G02B6/124 , G02B2006/12107
Abstract: 一种用于制造平面光波导装置的方法,该平面光波导装置的芯线包括多个交替布置的凸部和凹部以形成光栅结构,在该光栅结构中,凹部的芯线宽度沿纵向方向变化,该方法包括:高折射率材料层形成步骤,形成高折射率材料层;光刻胶层形成步骤,在高折射率材料层上形成光刻胶层;第一曝光步骤,使用相移光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分;第二曝光步骤,使用二元光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分;显影步骤,对光刻胶层进行显影;以及蚀刻步骤,使用从显影步骤得到的光刻胶图案对高折射率材料层进行蚀刻。
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公开(公告)号:CN112189281B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN201980034586.4
申请日:2019-03-25
Applicant: 株式会社藤仓
Abstract: 本发明使能够较高地控制天线指向性的范围广角化。天线(1)具备片状的层叠体(2),层叠体(2)具有导体图案层(20)、第一电介质层(11)、接地导体层(30)以及天线图案层(40),天线图案层(40)具有并列的多个元件列(41),元件列(41)具有偶数体的辐射元件(42~45),该辐射元件(42~45)在相对于元件列(41)的并列方向正交的方向上隔开间隔地排列成一条直线状并且被串联连接,导体图案层(20)具有向各元件列(41)的中央供电的多个供电线路(21),层叠体(2)在弯折线(4)处被弯折,由此元件列(41)以弯折线(4)为界被分成多个群组。
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公开(公告)号:CN112189281A
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN201980034586.4
申请日:2019-03-25
Applicant: 株式会社藤仓
Abstract: 本发明使能够较高地控制天线指向性的范围广角化。天线(1)具备片状的层叠体(2),层叠体(2)具有导体图案层(20)、第一电介质层(11)、接地导体层(30)以及天线图案层(40),天线图案层(40)具有并列的多个元件列(41),元件列(41)具有偶数体的辐射元件(42~45),该辐射元件(42~45)在相对于元件列(41)的并列方向正交的方向上隔开间隔地排列成一条直线状并且被串联连接,导体图案层(20)具有向各元件列(41)的中央供电的多个供电线路(21),层叠体(2)在弯折线(4)处被弯折,由此元件列(41)以弯折线(4)为界被分成多个群组。
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公开(公告)号:CN104969413B
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:CN201480007378.2
申请日:2014-02-28
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: H01Q7/00 , H01Q1/3275 , H01Q1/52 , H01Q5/385 , H01Q21/0087 , H01Q21/06 , H01Q21/28 , H01Q21/30
Abstract: 本发明提供集成天线及其制造方法。集成天线(1)具备具有第一环状辐射元件(11a)的第一环形天线(11)以及具有第二环状辐射元件(13)的第二环形天线(13)。第二环状辐射元件(13)以包围第一环状辐射元件(11a)的方式与第一环状辐射元件(11a)被配置于同一面上。
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公开(公告)号:CN103703618B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201280036194.X
申请日:2012-08-23
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: H01Q1/50 , H01Q1/38 , H01Q9/42 , H01R2201/02 , Y10T29/49018
Abstract: 一种天线装置(10),其具备:天线(100),其具有辐射元件(101)以及内部接地(103);同轴电缆(200),其内侧导体(204)与辐射元件(101)连接,外侧导体(203)与内部接地(103)连接;以及外部接地(500),其与同轴电缆(200)的外侧导体(203)电容耦合。
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公开(公告)号:CN101952755B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN200980106226.7
申请日:2009-02-27
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: G02B6/12007 , G02B6/02085 , G02B6/122 , G02B6/124 , G02B6/29394 , G02B2006/02166 , G02F2001/0151 , G02F2201/063 , G02F2201/307
Abstract: 设定一种基板型光波导元件,其中,光波导的芯具备:内侧芯,具有形成肋结构的凸部;和外侧芯,设置于该内侧芯之上并覆盖上述凸部的周面,外侧芯的折射率低于内侧芯的平均折射率。对于该基板型光波导元件的构造,芯也可以使用硅(Si)和氮化硅(SixNy)等的具有比硅玻璃系材料高的折射率的材料。
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公开(公告)号:CN103703614A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201280036512.2
申请日:2012-08-23
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: H01Q1/48 , H01Q1/22 , H01Q1/38 , H01Q9/42 , Y10T29/49018
Abstract: 天线装置(10)具备:具有放射元件(101)以及内部地线(103)的天线(100);内侧导体(204)与放射元件(101)连接并且外侧导体(203)与内部地线(103)连接的同轴线缆(200);以及与同轴线缆(200)的外侧导体(203)连接的外部地线(500)。
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