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发明公开
涡电流传感器的检测信号处理装置及检测信号处理方法、研磨装置审中-实审

公开(公告)号：CN115597479A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210735955.6

申请日：2022-06-27

Applicant: 株式会社荏原制作所(JP)

Inventor： 山田洋人 , 高桥太郎 , 涩江宏明

IPC: G01B7/06 , G01B7/02 , B24B37/013 , B24B37/005

Abstract: 本发明提供一种对周围环境的变化比以往不易受到影响的涡电流传感器的检测信号处理装置及检测信号处理方法、研磨装置。检测信号处理装置(220)具有：将检测线圈(34)输出的第一模拟信号(128)转换成第一数字信号(58)的转换器(60)；将虚拟线圈(36)输出的第二模拟信号(130)转换成第二数字信号(62)的转换器(64)；以及对第一数字信号(58)与第二数字信号(62)进行检波的数字信号处理电路即检波部。

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