公开(公告)号：CN105738320A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510973911.7

申请日：2015-12-22

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  国立大学法人九州工业大学

Inventor： 松尾尚典 ,  望月宣宏 ,  铃木惠友 ,  田尻贵宽 ,  卡琼路鲁安帕纳特

IPC: G01N21/47 ,  G01B11/30 ,  B24B53/017

CPC classification number: B24B37/005 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/4742 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0826 ,  G01N21/4738 ,  B24B53/017 ,  G01B11/30

Abstract: 提供一种研磨垫的表面性状测定方法和装置，通过使激光以多个入射角向研磨垫入射，从而能够对反映出CMP性能的研磨垫的表面性状进行测定。在研磨垫(2)的表面性状测定方法中，通过对研磨垫(2)的表面照射激光，接受由研磨垫表面反射的光并进行傅里叶转换，从而求出研磨垫(2)的表面性状，其中，使激光以多个角度向研磨垫(2)入射。

公开(公告)号：CN105738320B

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN201510973911.7

申请日：2015-12-22

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  国立大学法人九州工业大学

Inventor： 松尾尚典 ,  望月宣宏 ,  铃木惠友 ,  田尻贵宽 ,  卡琼路鲁安帕纳特

IPC: G01N21/47 ,  G01B11/30 ,  B24B53/017

Abstract: 提供一种研磨垫的表面性状测定方法和装置，通过使激光以多个入射角向研磨垫入射，从而能够对反映出CMP性能的研磨垫的表面性状进行测定。在研磨垫(2)的表面性状测定方法中，通过对研磨垫(2)的表面照射激光，接受由研磨垫表面反射的光并进行傅里叶转换，从而求出研磨垫(2)的表面性状，其中，使激光以多个角度向研磨垫(2)入射。