公开(公告)号：CN107086190B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN201710081701.6

申请日：2017-02-15

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 今村听 ,  宫崎充 ,  国泽淳次 ,  松泽俊介

IPC: H01L21/67

Abstract: 基板清洗装置具有：清洗部件(11、21)，其与基板(W)抵接而进行该基板(W)的清洗；部件旋转部(15、25)，其使所述清洗部件(11、21)旋转；按压驱动部(19、29)，其将所述清洗部件(11、21)向所述基板(W)按压；转矩检测部(16、26)，其对施加给所述部件旋转部(15、25)的转矩进行检测；以及控制部(50)，其根据来自所述转矩检测部(16、26)的检测结果来控制所述按压力。

公开(公告)号：CN107086190A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201710081701.6

申请日：2017-02-15

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 今村听 ,  宫崎充 ,  国泽淳次 ,  松泽俊介

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/67046 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/68728

Abstract: 基板清洗装置具有：清洗部件(11、21)，其与基板(W)抵接而进行该基板(W)的清洗；部件旋转部(15、25)，其使所述清洗部件(11、21)旋转；按压驱动部(19、29)，其将所述清洗部件(11、21)向所述基板(W)按压；转矩检测部(16、26)，其对施加给所述部件旋转部(15、25)的转矩进行检测；以及控制部(50)，其根据来自所述转矩检测部(16、26)的检测结果来控制所述按压力。