公开(公告)号：CN111515811A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN202010075305.4

申请日：2020-01-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 柏木诚 ,  保科真穂

IPC: B24B21/04 ,  B24B37/005 ,  B24B37/04 ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B47/20 ,  B24B49/12 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，能够使基板的中心与处理台的轴心高精度地对准，而防止产生不良基板。基板处理装置具备：偏心检测机构(54)，该偏心检测机构取得定心台(10)所保持的基板(W)的中心相对于定心台(10)的轴心(C1)的偏心量和偏心方向；以及对准器(36、41、75)，该对准器使基板W的中心与处理台(20)的轴心(C2)对准。对准器(36、41、75)在将基板W从定心台(10)交接到处理台(20)之后，使用偏心检测机构(54)而取得基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量和偏心方向，并且该对准器确认所取得的基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量处于规定的允许范围内。

公开(公告)号：CN111515811B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202010075305.4

申请日：2020-01-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 柏木诚 ,  保科真穂

IPC: B24B21/04 ,  B24B37/005 ,  B24B37/04 ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B47/20 ,  B24B49/12 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，能够使基板的中心与处理台的轴心高精度地对准，而防止产生不良基板。基板处理装置具备：偏心检测机构(54)，该偏心检测机构取得定心台(10)所保持的基板(W)的中心相对于定心台(10)的轴心(C1)的偏心量和偏心方向；以及对准器(36、41、75)，该对准器使基板W的中心与处理台(20)的轴心(C2)对准。对准器(36、41、75)在将基板W从定心台(10)交接到处理台(20)之后，使用偏心检测机构(54)而取得基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量和偏心方向，并且该对准器确认所取得的基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量处于规定的允许范围内。

公开(公告)号：CN111791143A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010235762.5

申请日：2020-03-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小林贤一 ,  真继阿沙葵 ,  柏木诚 ,  保科真穂

IPC: B24B37/30

Abstract: 本发明为层叠膜、具备层叠膜的基板保持装置及基板处理装置。不使用形状复杂的模具而制造具备多个压力室的弹性部件。根据一实施方式，提供用于基板处理装置的基板保持部的层叠膜。该层叠膜具有第一片材料，和配置在上述第一片材料的上面的第二片材料，上述第一片材料的一部分固定于上述第二片材料的一部分。

公开(公告)号：CN111791143B

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202010235762.5

申请日：2020-03-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小林贤一 ,  真继阿沙葵 ,  柏木诚 ,  保科真穂

IPC: B24B37/30

Abstract: 本发明为层叠膜、具备层叠膜的基板保持装置及基板处理装置。不使用形状复杂的模具而制造具备多个压力室的弹性部件。根据一实施方式，提供用于基板处理装置的基板保持部的层叠膜。该层叠膜具有第一片材料，和配置在上述第一片材料的上面的第二片材料，上述第一片材料的一部分固定于上述第二片材料的一部分。