公开(公告)号：CN101494164B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN200910009621.5

申请日：2009-01-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 鸟居弘臣 ,  西田弘明 ,  金子浩之 ,  伊达操 ,  三谷隆 ,  中村贵正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67751 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置的运转方法，当基板处理装置发生故障时，只要不是特别重大的故障，就不使装置整体停止，继续进行针对基板的一部分处理，清洗、回收基板，或容易地向外部排出装置内的基板等，从而能够降低无法处理基板的风险。具体为，是具有研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的基板处理装置的运转方法，在研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的任意一处检测到异常时，根据检测到异常的地点及基板在基板处理装置内的位置对基板进行分类，按分类后的基板改变并进行针对检测到所述异常后的基板的处理。

公开(公告)号：CN101494164A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200910009621.5

申请日：2009-01-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 鸟居弘臣 ,  西田弘明 ,  金子浩之 ,  伊达操 ,  三谷隆 ,  中村贵正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67751 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置的运转方法，当基板处理装置发生故障时，只要不是特别重大的故障，就不使装置整体停止，继续进行针对基板的一部分处理，清洗、回收基板，或容易地向外部排出装置内的基板等，从而能够降低无法处理基板的风险。具体为，是具有研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的基板处理装置的运转方法，在研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的任意一处检测到异常时，根据检测到异常的地点及基板在基板处理装置内的位置对基板进行分类，按分类后的基板改变并进行针对检测到所述异常后的基板的处理。