公开(公告)号：CN1821437A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610009203.2

申请日：2006-02-15

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 钉宫敏洋 ,  高木胜寿 ,  松崎均 ,  喜多下幸太郎 ,  米田阳一郎

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C22C1/0416 ,  B22F2003/248 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  C22C21/00 ,  C23C14/3414 ,  B22F9/082 ,  B22F3/1208 ,  B22F3/15 ,  B22F3/17 ,  B22F3/18 ,  B22F3/24 ,  B22F2201/02

Abstract: 本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al－Ni－稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。

公开(公告)号：CN100523279C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200610009203.2

申请日：2006-02-15

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 钉宫敏洋 ,  高木胜寿 ,  松崎均 ,  喜多下幸太郎 ,  米田阳一郎

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C22C1/0416 ,  B22F2003/248 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  C22C21/00 ,  C23C14/3414 ,  B22F9/082 ,  B22F3/1208 ,  B22F3/15 ,  B22F3/17 ,  B22F3/18 ,  B22F3/24 ,  B22F2201/02

Abstract: 本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al-Ni-稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。