公开(公告)号：CN1675409A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN03818927.5

申请日：2003-08-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 小原利光 ,  碇贺充 ,  玉垣浩

IPC: C23C28/00

Abstract: 提供制造耐热性特别优良的以α型晶体结构主体的氧化铝被膜的方法，其中包括：1)在具有由以Al和Ti为必要金属成分与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜的叠层被膜上，氧化该硬质被膜而形成氧化物含有层，在该氧化物含有层上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的方法；2)在形成由氧化物生成的标准自由能大于铝的金属与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜之后，氧化该硬质被膜的表面而形成氧化物含有层，接着，伴随该氧化物含有层表面的氧化物的还原，同时形成氧化铝被膜。

公开(公告)号：CN101445928A

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200810137619.1

申请日：2003-08-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 小原利光 ,  碇贺充 ,  玉垣浩

IPC: C23C28/00 ,  C23C8/02 ,  C23C8/10 ,  C23C30/00

Abstract: 提供制造耐热性特别优良的以α型晶体结构主体的氧化铝被膜的方法，其中包括：1)在具有由以Al和Ti为必要金属成分与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜的叠层被膜上，氧化该硬质被膜而形成氧化物含有层，在该氧化物含有层上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的方法；2)在形成由氧化物生成的标准自由能大于铝的金属与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜之后，氧化该硬质被膜的表面而形成氧化物含有层，接着，伴随该氧化物含有层表面的氧化物的还原，同时形成氧化铝被膜。

公开(公告)号：CN100413998C

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN03818927.5

申请日：2003-08-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 小原利光 ,  碇贺充 ,  玉垣浩

IPC: C23C28/00

Abstract: 提供制造耐热性特别优良的以α型晶体结构主体的氧化铝被膜的方法，其中包括：1)在具有由以Al和Ti为必要金属成分与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜的叠层被膜上，氧化该硬质被膜而形成氧化物含有层，在该氧化物含有层上形成以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的方法；2)在形成由氧化物生成的标准自由能大于铝的金属与B、C、N、O等的化合物构成的硬质被膜之后，氧化该硬质被膜的表面而形成氧化物含有层，接着，伴随该氧化物含有层表面的氧化物的还原，同时形成氧化铝被膜。