公开(公告)号：CN113529018B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202110343743.9

申请日：2021-03-30

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 仓千晴 ,  越智元隆

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  H01L23/532 ,  H01L27/12

Abstract: 本发明的一个方式的Al合金蒸镀膜含有Al、及1.5atm％～6.0atm％的Zr或Zn，且进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，并且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下。本发明涉及一种包括所述Al合金蒸镀膜的显示器用配线膜、显示器装置、及Al合金蒸镀膜形成用的溅射靶材。

公开(公告)号：CN113529018A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202110343743.9

申请日：2021-03-30

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 仓千晴 ,  越智元隆

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  H01L23/532 ,  H01L27/12

Abstract: 本发明的一个方式的Al合金蒸镀膜含有Al、及1.5atm％～6.0atm％的Zr或Zn，且进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，并且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下。本发明涉及一种包括所述Al合金蒸镀膜的显示器用配线膜、显示器装置、及Al合金蒸镀膜形成用的溅射靶材。