公开(公告)号：CN118803522A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410426406.X

申请日：2024-04-10

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社 ,  日清纺微电子株式会社

Inventor： 樱井悠也 ,  山田英雄 ,  桝本尚己 ,  高桥宏 ,  挂札尚 ,  臼井孝英

IPC: H04R17/02

Abstract: 压电元件具备基板(10)、层叠于基板的下部电极(12)、层叠于下部电极的压电膜(13，15)、以及层叠于压电膜的上部电极(16)。通过在基板中的与下部电极相反侧的面上形成的凹部(17)、和将下部电极、压电膜、上部电极贯通的贯通孔(19)，形成由下部电极、压电膜、上部电极构成且被悬臂支承于基板的多个薄膜部(181，182，183，184)，多个薄膜部中的至少2个薄膜部的共振频率相互不同。

公开(公告)号：CN114207854A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080055479.2

申请日：2020-07-28

Applicant: 日清纺微电子有限公司 ,  株式会社电装

Inventor： 口地博行 ,  桝本尚己 ,  山田英雄 ,  敕使河原明彦 ,  水谷厚司

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/08 ,  H01L41/113

Abstract: 压电元件(10)具备：压电元件部(12)，具有压电膜(14)和在厚度方向(Z)上夹持压电膜(14)的电极(16)；支承部(18)，支承压电元件部(12)的周缘部(E1)；以及伸缩膜(22)。伸缩膜(22)设置于压电元件部(12)的周缘部(E1)的内侧的振动区域(E2)。此外，伸缩膜(22)的伸缩性比压电元件部(12)的伸缩性高。