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公开(公告)号:CN102400224B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201110220363.2
申请日:2011-07-29
Abstract: 一种碳化硅单晶(3),包括作为掺杂剂的氮和作为掺杂剂的铝。氮浓度为2×1019cm-3或更高,并且铝浓度与所述氮浓度的比率在5%至40%的范围内。
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公开(公告)号:CN102400224A
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN201110220363.2
申请日:2011-07-29
Abstract: 一种碳化硅单晶(3),包括作为掺杂剂的氮和作为掺杂剂的铝。氮浓度为2×1019cm-3或更高,并且铝浓度与所述氮浓度的比率在5%至40%的范围内。
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