湿度传感器件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100549685C

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200610008890.6

    申请日:2006-02-22

    CPC classification number: G01N27/223

    Abstract: 湿度传感器件(500)包括:传感器部分(100),它的电容根据周围湿度而改变;信号处理器(300),用于处理传感器部分的检测信号并输出相应该湿度的信号;加热部分(200),用于加热传感器部分;以及控制器(400),用于控制加热部分(200)的加热,使得至少在自我诊断周期期间,传感器部分(100)的电容基本上等于预定湿度下的值。

    电容性湿度传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1782700A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510119491.2

    申请日:2005-11-09

    CPC classification number: G01N27/223

    Abstract: 用于检测湿度变化的电容性湿度传感器包括具有第一电容(Cv1)的第一传感器元件(11,21,31,41,51),具有第二电容(Cv2)并与第一传感器元件串联连接的第二传感器元件(12,22,32,42,52),及具有依照湿度变化的介电常数的湿度敏感层(4)。第一电容(Cv1)和第二电容(Cv2)相对于湿度的变化以不同比率变化。使用第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)的不同电容(Cv1,Cv2)检测湿度。湿度敏感层(4)形成到第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)上,使得第一传感器元件(11,21,31,41,51)和第二传感器元件(12,22,32,42,52)被有效地保护。

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