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公开(公告)号：CN102362341A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013199.1
申请日：2010-03-30
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/06 , B65G49/07 , F16D3/48
CPC classification number: H01L21/67742 , F16D3/48 , H01L21/6875
Abstract: 本发明提供了一种可自由倾动地夹持输送对象的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。本发明的输送装置包括在机械手(4)上由支撑部(7)支撑的衬垫(6)。衬垫(6)处形成有凹部(8a)，通过所述凹部(8a)与固定在机械手(4)上的支撑部(7)的咬合，可倾动地支撑衬垫(6)。通过衬垫(6)的黏着层(10)的黏着来夹持输送对象，通过衬垫(6)相对于衬垫(4)的倾动运动，迎合输送对象的形状或追踪其振动，从而实现对输送对象的稳定输送。
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公开(公告)号：CN102365726A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080014072.1
申请日：2010-03-30
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/6875 , H01L21/67742 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供了一种可以抑制对象物的形状变化或保持形态的变动带来的影响，从而稳定地保持对象物的保持装置、传送装置以及旋转传动装置。本发明的传送装置具有机械手(4)及设置在机械手上的保持体(5)。保持体(5)包括具有与保持对象物紧贴的保持面并在保持面上可保持传送对象物的保持构件(7)，以及由与机械手(4)和保持构件(7)相互连接的粘弹性材料组成的粘弹性构件(6)。传送装置(1)通过粘弹性构件(6)的弹性变形，使保持构件(7)的整个面与对象物紧贴，从而能够将传送对象物保持在机械手(4)上。
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公开(公告)号：CN107852030A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680039186.9
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H02J50/05 , B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05
Abstract: 本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
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公开(公告)号：CN101542171B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780042208.8
申请日：2007-11-13
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: F16J15/32 , B25J9/06 , B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: F16J15/54 , B25J9/1065 , B25J18/04 , F16J15/324 , F16J15/40 , H01L21/67742 , Y10T74/20207
Abstract: 本发明提供了一种将大气一侧的旋转运动传送到真空中、并且结构简单滑动阻力低的长寿命旋转导入机构、回转半径小并且产生的灰尘少的基板搬运装置、以及真空处理装置。在真空密封机构上安装润滑剂保持部件(5)。基板搬运装置的结构是，第1连接机构(20a)包括第1臂(21a)和第4臂(21b)，第2连接机构(20b)包括第2臂(22a)和第3臂(22b)，第1臂(21a)固定安装在第1驱动轴(25)上，第2臂(22a)固定安装在第2驱动轴(26)上，第3臂(22b)可旋转地安装在第1驱动轴(25)上，第4臂(21b)可旋转地安装在第2驱动轴(26)上。真空处理装置包括该基板搬运装置。
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公开(公告)号：CN102164749A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980138080.4
申请日：2009-09-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/175
CPC classification number: B41J2/17596 , B41J2/17556
Abstract: 对墨盒的背压进行控制。墨盒（11）连接于压力控制装置（12）。压力控制装置（12）具有第一、第二止回阀（13、14），当墨盒（11）的内部压力比外部气氛小第一预定压力以上时，第一止回阀（13）成为打开状态，从而外部气氛与墨盒（11）连接。相反，当墨盒（11）的内部压力比外部气氛高第二预定压力以上时，第二止回阀（14）成为打开状态，从而墨盒（11）与外部气氛连接。因此，墨盒（11）的内部压力以足以使弯液面稳定的精度控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114050667A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111330511.6
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
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公开(公告)号：CN112589807A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011049143.3
申请日：2020-09-29
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B25J11/00 , B25J9/16 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。
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公开(公告)号：CN107615472B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201680031508.5
申请日：2016-05-24
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07 , H02J50/90
Abstract: 本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。
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公开(公告)号：CN103026479B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201180036140.9
申请日：2011-07-25
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/677 , B25J15/06
CPC classification number: B65G47/92 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6831
Abstract: 本发明提供一种能够不损害位置精度而迅速转运基板的基板运送方法和基板运送系统。在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。
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公开(公告)号：CN102245944A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200980149584.6
申请日：2009-12-02
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: F16J15/324
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。为达到上述目的，密封机构(100)的突出状密封件(12)配置在驱动轴(25)的外周，其突出状部(12b)具有与驱动轴(25)接触的密封部(12c)。分隔壁部件(15)安装在驱动轴(25)上，封闭安装部件(30)的下部的开口，且与突出状密封件(12)相面对。至少由安装部件(30)与分隔壁部件(15)形成用于收装润滑剂(16)的容器。在分隔壁部件(15)与保持基座体(60)之间设有间隙(17)，且该间隙(17)不会使润滑剂(16)通过。通过这样的结构，能够确保收装润滑剂(16)的空间，同时，密封机构(100)与驱动轴(25)接触的部分仅为突出状密封件(12)的密封部(12c)。
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