公开(公告)号：CN102105990A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200980128616.4

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社爱发科 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 菊池正志 ,  增田淳 ,  近藤道雄

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/24 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/545 ,  C23C16/24 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3277 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种用于制造增加膜特性均匀性的薄膜太阳能电池的装置。在输送衬底（S）从一个卷筒（R1）到另一个卷筒（R2）的过程中，在所述卷筒对（R1，R2）之间沿输送方向（D）区隔开的多个膜形成隔室（23A）中形成多个半导体层的层叠体的电能生成层（12）。在每个膜形成隔室（23A）中，在所述输送方向上，朝向所述衬底（S）布置多个扁平应用电极（32）。每个扁平应用电极（32）包括提供有VHF频带内的高频电源的电源端子（36）。当所述高频电源的波长由λ表示时，将所述扁平应用电极（32）的边缘与电源端子（36）之间在正交于所述输送方向的方向上的距离设置为比λ/4短。

公开(公告)号：CN102105990B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN200980128616.4

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社爱发科 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 菊池正志 ,  增田淳 ,  近藤道雄

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/24 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/545 ,  C23C16/24 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3277 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种用于制造增加膜特性均匀性的薄膜太阳能电池的装置。在输送衬底（S）从一个卷筒（R1）到另一个卷筒（R2）的过程中，在所述卷筒对（R1，R2）之间沿输送方向（D）区隔开的多个膜形成隔室（23A）中形成多个半导体层的层叠体的电能生成层（12）。在每个膜形成隔室（23A）中，在所述输送方向上，朝向所述衬底（S）布置多个扁平应用电极（32）。每个扁平应用电极（32）包括提供有VHF频带内的高频电源的电源端子（36）。当所述高频电源的波长由λ表示时，将所述扁平应用电极（32）的边缘与电源端子（36）之间在正交于所述输送方向的方向上的距离设置为比λ/4短。