公开(公告)号：CN103526276A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310426088.9

申请日：2006-05-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 稻吉荣 ,  野村健 ,  石泽克修 ,  齐藤真一 ,  山口真奈美

IPC: C25F3/24

CPC classification number: C23F3/00 ,  C23G1/18 ,  C25F1/00

Abstract: 本发明涉及不使用危险性高的硝酸等除去构成真空容器等真空处理装置的部件的表面附着的药液和金属等的附着物的方法。该方法是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法，其特征为，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，利用在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中，添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量%、小于10重量%而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。

公开(公告)号：CN101031674B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680000872.1

申请日：2006-05-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 稻吉荣 ,  石泽克修 ,  野村健 ,  齐藤真一 ,  山口真奈美

IPC: C25D11/16 ,  C23C22/13

CPC classification number: C25D11/04

Abstract: 本发明以提供通过使赋予铝或铝合金耐腐蚀性的壁垒型阳极氧化处理膜成为致密的膜，使其成为气体放出特性优良的壁垒型阳极氧化处理膜的铝或铝合金的耐腐蚀处理方法为目的。其特征为，在铝或铝合金的表面形成厚5-20nm的致密的氧化层，然后，进行壁垒型阳极氧化处理。

公开(公告)号：CN101031674A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200680000872.1

申请日：2006-05-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 稻吉荣 ,  石泽克修 ,  野村健 ,  齐藤真一 ,  山口真奈美

IPC: C25D11/16 ,  C23C22/13

CPC classification number: C25D11/04

Abstract: 本发明以提供通过使赋予铝或铝合金耐腐蚀性的壁垒型阳极氧化处理膜成为致密的膜，使其成为气体放出特性优良的壁垒型阳极氧化处理膜的铝或铝合金的耐腐蚀处理方法为目的。其特征为，在铝或铝合金的表面形成厚5－20nm的致密的氧化层，然后，进行壁垒型阳极氧化处理。

公开(公告)号：CN101031672A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200680000873.6

申请日：2006-05-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 稻吉荣 ,  野村健 ,  石泽克修 ,  齐藤真一 ,  山口真奈美

IPC: C23G1/19 ,  C25F3/24

CPC classification number: C23F3/00 ,  C23G1/18 ,  C25F1/00

Abstract: 本发明涉及不使用危险性高的硝酸等除去构成真空容器等真空处理装置的部件的表面附着的药液和金属等的附着物的方法。该方法是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法，其特征为，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，利用在大于等于0.5重量％、小于3重量％的稀碱液中，添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量％、小于10重量％而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。