公开(公告)号：CN107429386A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680021346.7

申请日：2016-04-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 江上明史 ,  金子俊则 ,  大野哲宏

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/683

Abstract: 基板保持机构(20)具备：保持部(21、22)，具有载置面(21S)，基板(S)的外周部被载置于载置面(21S)，保持部(21、22)将基板保持于该载置面上。保持部(21、22)在第一位置(P1)与不同于该第一位置(P1)的第二位置(P2)之间变更载置面(21S)的位置。保持部(21、22)具备：吸附部，将基板(S)静电吸附于载置面(21S)的至少一部分。

公开(公告)号：CN107429386B

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201680021346.7

申请日：2016-04-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 江上明史 ,  金子俊则 ,  大野哲宏

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/683

Abstract: 基板保持机构(20)具备：保持部(21、22)，具有载置面(21S)，基板(S)的外周部被载置于载置面(21S)，保持部(21、22)将基板保持于该载置面上。保持部(21、22)在第一位置(P1)与不同于该第一位置(P1)的第二位置(P2)之间变更载置面(21S)的位置。保持部(21、22)具备：吸附部，将基板(S)静电吸附于载置面(21S)的至少一部分。