公开(公告)号：CN103329257B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201180065526.2

申请日：2011-10-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 大野哲宏 ,  佐藤重光 ,  大空弘树 ,  佐藤善胜 ,  松冈隆滋

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  C23C14/50

CPC classification number: B65G49/063 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

Abstract: 一种被处理体的运送机构具备：运送部件，在下部具备圆柱状的滑动轴并运送被处理体；支撑部件，由具备与所述滑动轴相接并引导所述运送部件的U字状的槽部的多个辊构成，在所述被处理体的运送机构中，所述滑动轴及所述辊中一方的至少接触部由包括硅、铝、氧及氮的块体构成，所述滑动轴及所述辊中另一方的至少接触部由不锈钢构成。

公开(公告)号：CN103329257A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180065526.2

申请日：2011-10-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 大野哲宏 ,  佐藤重光 ,  大空弘树 ,  佐藤善胜 ,  松冈隆滋

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  C23C14/50

CPC classification number: B65G49/063 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

Abstract: 一种被处理体的运送机构具备：运送部件，在下部具备圆柱状的滑动轴并运送被处理体；支撑部件，由具备与所述滑动轴相接并引导所述运送部件的U字状的槽部的多个辊构成，在所述被处理体的运送机构中，所述滑动轴及所述辊中一方的至少接触部由包括硅、铝、氧及氮的块体构成，所述滑动轴及所述辊中另一方的至少接触部由不锈钢构成。