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公开(公告)号：CN105874097A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003277.2
申请日：2015-12-04
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够对在较大范围飞散的反射电子稳定地进行捕捉的电子束蒸发源及具有该电子束蒸发源的真空蒸镀装置。该电子束蒸发源具有蒸发材料保持部、电子枪和磁路部。所述蒸发材料保持部具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域。所述电子枪与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，能够对所述第1保持区域射出电子束。所述磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在第1轴方向排列配置。
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公开(公告)号：CN113025965A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202011541580.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/30
Abstract: 本发明提供一种高可靠性、提高了扫描性的电子枪装置。电子枪装置中，磁轭板具有：第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，和与从第一主面朝向第二主面的方向正交的中心线。电子束源位于磁轭板的第一主面侧，能从磁轭板的上述第一主面侧向磁轭板的第二主面侧射出电子束。磁场产生源设在磁轭板的第二主面，并具有：在中心线的两侧的一侧配置的第一磁体，和在两侧的另一侧配置的第二磁体。第一磁体的第一极和第二极与第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。磁场产生源在磁轭板的第二主面侧利用第一磁体的第二极和第二磁体的第一极形成的磁场将电子束的轨道偏转。第一磁体的第一极和第二磁体的第二极形成的磁场被封闭在磁轭板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105555994B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201480051603.2
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/30 , H01J37/06 , H01J37/3053 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元以及控制部。第1和第2丝极能够产生第1和第2电子束。电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使第1丝极或者第2丝极产生电子束的加热电流；偏压供给部，其将偏压施加给加热电流。切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，其中，第1状态为向第1丝极供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极供给驱动电流的状态。控制部控制第1状态和第2状态的切换，其中，驱动电流是对加热电流施加偏压后形成的电流。
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公开(公告)号：CN105874097B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201580003277.2
申请日：2015-12-04
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够对在较大范围飞散的反射电子稳定地进行捕捉的电子束蒸发源及具有该电子束蒸发源的真空蒸镀装置。该电子束蒸发源具有蒸发材料保持部、电子枪和磁路部。所述蒸发材料保持部具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域。所述电子枪与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，能够对所述第1保持区域射出电子束。所述磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在第1轴方向排列配置。
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公开(公告)号：CN105555994A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480051603.2
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/30 , H01J37/06 , H01J37/3053 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元以及控制部。第1和第2丝极能够产生第1和第2电子束。电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使第1丝极或者第2丝极产生电子束的加热电流；偏压供给部，其将偏压施加给加热电流。切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，其中，第1状态为向第1丝极供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极供给驱动电流的状态。控制部控制第1状态和第2状态的切换，其中，驱动电流是对加热电流施加偏压后形成的电流。
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公开(公告)号：CN119265521A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410391849.X
申请日：2024-04-02
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/30
Abstract: 本发明的电子束式蒸镀单元具有：坩埚(2)，其具备多个蒸镀材料(Em)的收纳凹部(21)；电子束生成源(3)；电子束的成形偏转机构(4)；以及坩埚盖(5)；能够容易地实施蒸镀材料(Em)的填充操作和对坩埚(2)的维护操作。还具备：可动部，其使坩埚盖在覆盖坩埚上方的关闭姿态和使全部的收纳凹部露出的打开姿态之间可动；引导部，其在使坩埚盖从打开姿态返回到关闭姿态时，通过坩埚盖的自重将坩埚盖引导到坩埚盖的开口部(51)和任一收纳凹部(21)在上下方向上相一致的正规位置。可动部和引导部设置在覆盖与开口部的夹隔坩埚中心的径向相反侧的上方的坩埚盖的端部，由摆动自如地支撑的铰链机构(6)构成。通过流入到坩埚盖内的循环通道(52)的流入口的冷媒和流出到流出口的冷媒来冷却铰链机构(6)的支撑轴(62)。
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公开(公告)号：CN113025965B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202011541580.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种高可靠性、提高了扫描性的电子枪装置。电子枪装置中，磁轭板具有：第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，和与从第一主面朝向第二主面的方向正交的中心线。电子束源位于磁轭板的第一主面侧，能从磁轭板的上述第一主面侧向磁轭板的第二主面侧射出电子束。磁场产生源设在磁轭板的第二主面，并具有：在中心线的两侧的一侧配置的第一磁体，和在两侧的另一侧配置的第二磁体。第一磁体的第一极和第二极与第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。磁场产生源在磁轭板的第二主面侧利用第一磁体的第二极和第二磁体的第一极形成的磁场将电子束的轨道偏转。第一磁体的第一极和第二磁体的第二极形成的磁场被封闭在磁轭板。
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