还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法

    公开(公告)号:CN111372716A

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201980001261.6

    申请日:2019-07-24

    Abstract: 本发明提供一种不使还原液体飞溅而进行供给的还原气体供给装置、及经处理对象物的制造方法。其中,还原气体供给装置(1)具备:腔室(10),形成对象物(T)进行焊接的空间;气化器(20),在腔室(10)内导入成为被供给的还原气体(FG)前的还原液体(FL),并使其气化,生成还原气体(FG);中间容器(30),在将还原液体瓶(80)内的还原液体(FL)导入于气化器(20)前,暂时贮存还原用液体;输送管(51);供给管(41);输送部(58),将还原用液体瓶(80)内的还原液体(FL)移送至中间容器(30);供给部(48),将中间容器(30)内的还原用液体(FL)移送至气化器(20)。经处理对象物的制造方法为:对腔室(10)内供给对象物(T),一边对腔室(10)内供给还原气体(FG),一边进行对象物(T)的焊接,并将进行焊接后的对象物(T)从腔室(10)取出。

    还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法

    公开(公告)号:CN111372716B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201980001261.6

    申请日:2019-07-24

    Abstract: 本发明提供一种不使还原液体飞溅而进行供给的还原气体供给装置、及经处理对象物的制造方法。其中,还原气体供给装置(1)具备:腔室(10),形成对象物(T)进行焊接的空间;气化器(20),在腔室(10)内导入成为被供给的还原气体(FG)前的还原液体(FL),并使其气化,生成还原气体(FG);中间容器(30),在将还原液体瓶(80)内的还原液体(FL)导入于气化器(20)前,暂时贮存还原用液体;输送管(51);供给管(41);输送部(58),将还原用液体瓶(80)内的还原液体(FL)移送至中间容器(30);供给部(48),将中间容器(30)内的还原用液体(FL)移送至气化器(20)。经处理对象物的制造方法为:对腔室(10)内供给对象物(T),一边对腔室(10)内供给还原气体(FG),一边进行对象物(T)的焊接,并将进行焊接后的对象物(T)从腔室(10)取出。

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