公开(公告)号：CN113727799A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202080030838.9

申请日：2020-04-15

Applicant: 株式会社欧利生

Inventor： 竹内奈奈美 ,  白石有沙 ,  小泽直人 ,  铃木隆之

IPC: B23K1/008 ,  B23K3/00 ,  B23K3/08 ,  B23K31/02 ,  H05K3/34

Abstract: 本发明提供一种可用简便的构成防止污染物的附着的加热装置及焊料接合完毕对象物的制造方法。加热装置(1)具备：腔室(11)，收容对象物(W)；载台(13)，供载置对象物(W)，且该载台(13)将腔室(11)的内部空间(C)区分成下方区域(Ce)及上方区域(Cf)；加热部(15)，对载台(13)上的对象物(W)进行加热；以及气体供给装置(18)、(19)，将气体(Ge)、(F)供给到下部区域(Ce)。腔室(11)在上部区域(Cf)形成有流出口(11p)。载台13形成有间隙(D)，该间隙(D)使通过气体供给装置(18)、(19)供给到下部区域(Ce)的气体(Ge)、(F)成为沿着腔室(11)壁面从下方区域(Ce)往上方区域(Cf)移动的流动。制造方法为将对象物(W)提供到腔室(11)内，且供给沿着腔室(11)的壁面从下方区域(Ce)往上方区域(Cf)移动的气体(Ge)，并使对象物(W)的温度上升而进行焊料接合。