接合装置以及已接合部件的制造方法

    公开(公告)号:CN115315335B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN202180012785.2

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 接合装置具备:电极,向接合对象物传导电流;电流供给部,通过施加电压生成向接合对象物供给的电流;电流测量部,测量向接合对象物供给的电流;以及第一控制部,基于由所述电流测量部在前次以前测量的电流值校正施加于所述电流供给部的电压以使由所述电流测量部测量的电流值成为目标电流值。对于已接合部件的制造方法,向接合对象物供给向电流供给部施加电压而生成的电流,测量向接合对象物供给的电流,基于测量的电流值和希望的电流值的比例校正施加于电流供给部的电压。

    接合装置以及已接合部件的制造方法

    公开(公告)号:CN115066308B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202180011716.X

    申请日:2021-02-04

    Abstract: 一种接合装置,具备:第一电路,连接第一变压器的一次侧绕组和第一电容器;第二电路,连接第二变压器的一次侧绕组和第二电容器;电极,与第一变压器的二次侧绕组和第二变压器的二次侧绕组连接;以及充电开关,切换由电源向第一、第二电容器的不经由变压器的通电/非通电。第一电路具有第一放电开关,第二电路具有第二放电开关。已接合部件的制造方法是使用接合装置以由电极夹持的方式供给接合对象物,向夹持接合对象物的电极流过电流而对接合对象物进行接合。

    接合装置以及已接合部件的制造方法

    公开(公告)号:CN115066308A

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202180011716.X

    申请日:2021-02-04

    Abstract: 一种接合装置,具备:第一电路,连接第一变压器的一次侧绕组和第一电容器;第二电路,连接第二变压器的一次侧绕组和第二电容器;电极,与第一变压器的二次侧绕组和第二变压器的二次侧绕组连接;以及充电开关,切换由电源向第一、第二电容器的不经由变压器的通电/非通电。第一电路具有第一放电开关,第二电路具有第二放电开关。已接合部件的制造方法是使用接合装置以由电极夹持的方式供给接合对象物,向夹持接合对象物的电极流过电流而对接合对象物进行接合。

    接合装置以及已接合部件的制造方法

    公开(公告)号:CN115315335A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202180012785.2

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 接合装置具备:电极,向接合对象物传导电流;电流供给部,通过施加电压生成向接合对象物供给的电流;电流测量部,测量向接合对象物供给的电流;以及第一控制部,基于由所述电流测量部在前次以前测量的电流值校正施加于所述电流供给部的电压以使由所述电流测量部测量的电流值成为目标电流值。对于已接合部件的制造方法,向接合对象物供给向电流供给部施加电压而生成的电流,测量向接合对象物供给的电流,基于测量的电流值和希望的电流值的比例校正施加于电流供给部的电压。

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