公开(公告)号：CN111448521A

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201880078975.2

申请日：2018-09-12

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 谷本树一 ,  文藏隆志 ,  新城沙耶加 ,  都木新介

IPC: G03F7/42 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明为用于提供容易除去微细的布线间的抗蚀剂的技术的、以含有钾盐和溶纤剂为特征的抗蚀剂的剥离液、以及以使用上述抗蚀剂的剥离液处理施加有抗蚀剂的基材为特征的抗蚀剂的除去方法。

公开(公告)号：CN109074005A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780026501.9

申请日：2017-03-10

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 庄野浩己 ,  新城沙耶加

IPC: G03F7/42

Abstract: 提供一种抗蚀剂的剥离液，其特征为：含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺，利用这种抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用而有碳酸溶解，其性能也难以降低。